國產光刻機攻克技術難關！賀榮明：「中國芯」時代快要到來了

「17年前，世界上只有少數國家能夠製造光刻機，且長期以來對中國實施技術限制。

當時，我們國家長期依賴進口，這樣下去不利於國家的戰略安全和產業安全，我們只能自己研究。

」上海微電子裝備有限公司董事長賀榮明說到。

用中國人的光刻機造中國芯

隨著信息社會的迅速發展，我們眼看著身邊的手機、電腦、電視等各種電子設備越來越「迷你」越先進，手中的「大哥大」到現在僅僅幾個硬幣厚的智慧型手機，從老式的矮胖電視到如今輕薄的液晶電視，都不離開集成電路的發展，也就是我們平時所說的「晶片」。

從1958年世界上第一塊集成電路問世以來，隨著科技的不斷發展，它的體積就開始越來越小，當然性能是越來越強大。

什麼是光刻機？簡單說，它是製造集成電路，也就是晶片製造最關鍵的設備之一。

每顆晶片誕生之始，都要經過光刻機的鍛造。

就在那電光火石之間，母版上複雜的電路設計圖形轉化為矽片上細微繁密的溝壑紋理。

可以說，如果沒有「中國光刻機」，那麼製造「中國芯」也就無從談起。

但是在17年前，世界上只有少數國家能夠製造光刻機，且長期以來對中國實施技術限制。

當時我們國家只能夠長期依賴進口，每年進口額高達2000億美元，而且繼續這樣下去非常不利於國家的戰略安全和產業安全。

所以在2002年的時候，光刻機被列入國家863重大科技攻關計劃，由科技部和上海市共同推動成立上海微電子裝備有限公司（簡稱「SMEE」）來承擔，為實現「用中國人的光刻機造中國芯」的夢想，賀榮明帶著幾位滿懷夢想的「戰友」來到張江，承擔起製造振興國家民族的微電子裝備產業，開始了艱難的光刻機研發之路。

由於國內對於這個行業真是是一片空白，不管是專業的科研人員，還是零件的供應鏈，全部都需要從頭開始，再加上西方國家在此行業一直對中國實施技術封鎖，一切都讓賀榮明無法下手。

2002年的時候，賀榮明去德國考察時，有工程師告訴他：「給你們全套圖紙，也做不出來。

」

多次碰壁後，賀榮明明白，「唯一的出路就是走創新之路。

」

賀榮明還記得那個時刻，「2007年，當光刻機的第一束光曝出來時，我們都熱淚盈眶。

」2008年國家啟動了「02」科技重大專項予以銜接持續攻關。

2009年，首台光刻機樣機問世，在全世界為數不多的光刻機廠商名單中，第一次出現了中國企業名字：SMEE。

經過十七年的「臥薪嘗膽」，潛心研發，我國已基本掌握了高端光刻機的集成技術，並部分掌握了核心部件的製造技術，成為集光機電等多學科尖端技術於一體的「智能製造業中的珠穆朗瑪峰」。

談到這十七年來的生活，賀榮明笑著說，「除了出差，每天早上7點出門，晚上10點回家，周六保證不休息，周日休息不保證，這就是我十幾年生活的全部。

」

談到初心，賀榮明篤定地說：「我的夢想，是讓國際同行在談到我們時，增加一份對中國科技工作者的尊重。

」

「十二五」科技成就展覽上，SMEE生產的中國最好的光刻機，與中國的大飛機、登月車並列。

它的加工精度是90納米，相當於2004年上市的奔騰四CPU的水準。

但是要注意的是，國外已經做到了十幾納米。

目前全世界高精度光刻機產自ASML、尼康和佳能三家；頂級光刻機由ASML壟斷。

「發展光刻機，需要高素質的人群。

所以我們做來做去，做最多的是培養人，改變人。

」賀榮明說

近年來，中國科技正帶著澎湃動力向前奔跑，並逐漸進入到跟跑、並跑、領跑「三跑並存」的階段。

但與已開發國家相比，我國不少領域關鍵核心技術受制於人，亟待集中力量奮力攻關。

由於我國技術基礎比較薄弱，不但要攻克技術上的難點，還要解決攻克過程中的管理問題。

在供應鏈的打造和高科技行業上受到國外的限制等，使得我國整個技術門類還不健全，整個資源鏈還不完善，現在一方面以自主創新為主，一方面用更寬泛的國際視野面向全球整合資源。

我國高速發展，吸引了全球高科技人才、組織對我們充滿期待，這樣迎來了利用國際資源解決自身瓶頸，使得SMEE在堅持自主創新的同時全球化、國際化，相信距離用中國的光刻機製作中國芯的時代不遠了。

作為第一位拿到諾貝爾獎的華人，楊振寧教授曾經說道：「一個國家的強大，離不開青年人的強大；而青年人要強大，就必須學好數學，數學是一切科學的基礎。

」

在很多場合上，楊振寧都會提起年輕時候啟蒙他的數學大師——劉薰宇，他表示做過很多劉薰宇的智力數學文章，更是從中明白了排列和奇偶排列這些非常重要的數學概念，可見一個好的數學啟蒙，對於數學方面的成就很有幫助

我國著名的美術大師豐子愷曾經說過：「有次薰宇發表了一篇文章，我正患眼疾，醫生叮囑我燈下不可看書，而我接到雜誌，竟在燈下一口氣讀完了。

次日眼睛很痛，又去看醫生。

」

他每次發表，我都讀，誘我讀的，是它們的富有趣味的題材。

我常不知不覺地被誘進數學的世界裡去。

每次想，假如從前有這樣的數學書，也許我不會拋荒數學……

為此，我特意找了劉薰宇的書籍給我家的小孩看，沒想到5年級的他卻看得津津有味，並且明顯的感覺到他沉浸在書籍中，平時的時候寫10分鐘作業恨不能都要站起來走走，這次竟然一看就是一個多小時

我給孩子看的這套書一共有三本，一本是《馬先生講數學》，主要講如何用圖解法求解一些算術四則問題

第二本《數學趣味》，主要講日常生活中碰到的數學問題，我們講萬物皆數學，通過萬物來學數學是最快的。

第三本是《數學的園地》，這一冊就有點難度了，裡面講了函數、連續、誘導函數、微分、積分和總集等概念及它們的運算法的基本原理。

雖然有點深，但講解的方法很妙，我家小孩六年級，還能看懂一部分的內容。

這個書合適小學生以及初中生，可以做為他們的自學教材。

讓他們能夠自我學習。

價格也不貴，三冊只要69，包郵到家。

點下面的連結參團，這套書能夠啟蒙楊振寧這樣偉大的物理學家，也一定能得到你孩子的喜歡：