【業內熱點】三星完成基於EUV的5 nm FinFET工藝技術開發
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4月16日，三星電子宣布其基於EUV的5 nm FinFET工藝技術已完成開發，現已可以為客戶提供樣品。
與7nm相比，三星的5nm FinFET工藝技術將邏輯區域效率提高了25%，功耗降低了20%，性能提高了10%，從而獲得更多創新的標準單元架構。
與7nm LPP一樣，三星的5nm製程在光刻中使用了EUV技術，並減少了掩模層，同時提供更好的保真度。
三星表示，5nm的另一個主要優點是可以將所有7nm專利應用到5nm。
因此，7nm客戶過渡到5nm將極大的降低成本，預先驗證的設計生態系統，能夠縮短他們5nm產品的開發時間。
三星電子晶圓代工業務的執行副總裁Charlie Bae 表示：「成功完成5nm開發，我們已經證明了我們在基於EUV的節點中的能力。
為響應客戶對先進工藝技術不斷增長的需求，以區分其下一代產品，我們繼續致力於加速基於EUV技術的批量生產。
」
2018年10月，三星宣布準備並初步生產7nm工藝，這是其首個採用EUV光刻技術的工藝節點。
該公司已提供業界首批基於EUV的新產品的商業樣品，並於今年初開始量產7nm工藝。
此外，三星正在與6nm的客戶合作，這是一個定製的基於EUV的工藝節點，並且已經收到了其首款6nm晶片的流片產品。
Charlie Bae還指：「考慮到包括PPA（功率性能區域）和IP在內的各種好處，三星基於EUV的先進節點預計將對5G、人工智慧、高性能計算（HPC）等新型創新應用有很高的需求，利用我們強大的技術競爭力，包括我們在EUV光刻技術方面的領導地位，三星將繼續為客戶提供最先進的技術和解決方案。
」
三星代工廠基於EUV的工藝技術目前正在韓國華城的S3生產線上生產。
此外，三星將把其EUV產能擴大到華城的新EUV生產線，該生產線預計將在2019年下半年完成，並從明年開始增產。
值得一提的是，三星在10nm節點以下的唯一對手台積電在本月初已經宣布，其5nm工藝順利進入試產階段，相比之下三星的腳步還是慢了一拍，但是俗話說好飯不怕晚，二者之間孰好孰壞還需要等到量產之後才能見真章了。
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