智能化晶圓缺陷檢測分析分類軟平台-基於光學晶圓檢測技術
文章推薦指數: 80 %
本系列方案擁有現今市場上最強大的晶圓缺陷檢測能量,特別是在擒獲真正殺手級晶圓缺陷(True Failure Killer Defect) 的效率上,更是首屈一指,從而幫助業者節省大量的學習 ...
公司簡介AboutUs
關於諾邦產品服務與相關產業公司政策最新消息News產品介紹Products
半導體產業
晶圓缺陷檢測平台
UVC光源安定器
軟性X-ray靜電消除器
面板產業
顯示面板缺陷檢測
軟性X-ray靜電消除器
UVC光源安定器
資通訊產業
光網性能監測儀
光纖到戶測試儀
數據中心與光通訊測試儀
高壓直流轉換器
物聯網產業
教育訓練服務
檔案下載Download常見問題FAQ聯絡我們人員招聘
TW
|English
首頁 | 產品介紹 | 半導體產業 | 晶圓缺陷檢測平台
智能化晶圓缺陷檢測分析分類軟平台-基於光學晶圓檢測技術
產品說明
在半導體製程中,晶圓缺陷的分析分類能量與工作效率直接影響到生產良率與總體產值。
基於光學晶圓檢測技術,也為了強化您現有設備的能量,我們提供當今市場上最為先進的智能化檢測平台,它擁有舉世最強大的偵測能量並能辨識一般光學檢測平台無法精確判讀到的盲點。
本方案業經長期線上驗證,量測可靠度領先業界,確信可大幅提高晶圓缺陷定位、分類的準確性,使得半導體製程之線上品質審查、缺陷分析、製程改善的效能..等等,均能獲得全面之推升。
本系列方案堪稱是有效提升晶圓製造良率之極關鍵利器。
不同於工程型的中間產品,需要費時調校,且有資訊外洩顧慮,本系列方案係全然獨立的商品化產品,即刻可進入產線服務。
加上友善且智能化的使用者介面,使得快速提升晶圓缺陷檢測能量及促進生產良率的目標得以順利達成。
本系列方案擁有現今市場上最強大的晶圓缺陷檢測能量,特別是在擒獲真正殺手級晶圓缺陷(TrueFailureKillerDefect)的效率上,更是首屈一指,從而幫助業者節省大量的學習時間與添購設備的成本。
本系列解決方案適用於12吋晶圓廠之各現行製程與前瞻製程(如:40nm,28nm,16nm,14nm,10nm,7nmnode等製程)。
關於詳細功能及產品實證需求,歡迎您與我們連繫。
[email protected]
產 品
簡 介
晶圓隨機缺陷檢測軟平台-1
-Toclassifydefectidentity
-Toidentifykillerandnon-killerdefects
-Toremovenon-killerdefects
-Killerdefectsleft
AutoDefectClassificationSoftPlatform
Theworld’sbestrandomdefectsolution,predictnon-killerdefectswith>99.9%accuracybeforeSEMimages’shot. Screennon-killerdefectshas proventhecatchoftruefailurerandomdefectmultipletimesbetterthancompetitors’ina28nmSemiconductorFab.
晶圓隨機缺陷檢測軟平台-2
-Toidentifyandremovein-linelowerriskdefects
-Toselecthigherriskkillerdefectsamples
AutoDefectSampleSoftPlatform
Bypickingdefectsamplesfromthekillerdefectsgroupusingkillerdefectindex(KDI)thattargetstruefailurerandomdefects.
晶圓系統性缺陷檢測軟平台
-Tocatchweakpatterns
WeakPatternGroupandSampleSoftPlatform
BycatchingtheSystematicdefectpatternswithbothbasicandadvancedpatterngroupingmethodsaswellassmartGUIdesignintelligently.Weakpatternlibraryhelpusersmanagesystematicdefects’patternsmuchmoreefficiently.
晶圓缺陷檢測自動化-方案
-TheautomationprocessbetweenDefectInspectionand ReviewSEM&Image
Totriggernewdefectjob.
Toexecutedefectjob.
Touploaddefectresultstotheserver.
Tosaveatremendousamountoftimecost
回上層
諾邦科技股份有限公司|通訊地址:31040新竹縣竹東鎮中興路四段195號53館509室|電話:03-591-0358|電郵:[email protected]
Copyright©AOELab,Inc.2010-2022,AllRightsReserved.諾邦科技股份有限公司著作權所有
電腦版
|
手機版
延伸文章資訊
- 1應材發表人工智慧半導體缺陷檢測,降低取得關鍵缺陷成本3 倍
同樣地,3D 電晶體的成形和多重處理技術也會帶來微妙變化,這些變化可能會造成良率不良的加乘效果,使得晶圓缺陷的診斷與改善更為耗時。 因此,應材將使用 ...
- 2台灣勝米磊有限公司Semilab Taiwan Co., Ltd.
缺陷檢測( Defect Inspection ) ... 紅外線共軛焦顯微鏡( Infrared Confocal Microscope, SIRM ). 非破壞式分析矽晶片微缺陷(Bulk ...
- 3國立交通大學工業工程與管理學系碩士班碩士論文
本論文檢測對象為晶圓中的晶粒表面缺陷,由於前照式的光源照明方式是強. 調檢測物的表面特徵,因此半導體製造廠商的取像機台,其光源的打光方式如圖. 2.2 所示,為一使用前 ...
- 4半導體晶圓缺陷檢驗- 電子產品業 - Cognex
使用Cognex Deep Learning 與缺陷探測工具,檢測半導體晶圓層是否有潛在缺陷。
- 5半導體晶圓製造過程中三種常見缺陷 - 壹讀
深圳熒鴻從2006年開始從事檢查燈,針對半導體晶圓開發了幾款缺陷檢查燈,可精確檢查1um的缺陷瑕疵,主要有白/綠/黃三種光源,無論是人工還是機器檢查使用 ...