Products Archive - Lam Research

VANTEX系列產品. 專為Sense.i平台所設計，Vantex透過技術創新和Equipment Intelligence 重新定義了高深寬比蝕刻。

跳轉至內容 彙整:Products VANTEX系列產品 專為Sense.i平台所設計，Vantex透過技術創新和EquipmentIntelligence重新定義了高深寬比蝕刻。

SENSE.I系列產品 採用緊湊、高密度的結構設計，LamResearch突破性的Sense.i™平台具備無與倫比的系統智慧，能以最高生產力實現製程效能。

RELIANT沉積產品 LamResearch的整修與新建Reliant產品可為介電層薄膜應用提供可靠、通過生產驗證的低成本解決方案。

RELIANT清洗產品 LamResearch的整修與新建Reliant產品可為各種晶面和晶背/晶邊清洗應用提供可靠、通過生產驗證的低成本解決方案。

RELIANT蝕刻產品 LamResearch的整修與新建Reliant產品可為導體、介電層與金屬蝕刻應用提供可靠、通過生產驗證的低成本解決方案。

DSIE系列產品 這些產品能以卓越的製程控制提高各種深矽晶蝕刻應用的生產力。

METRYX系列產品 LamResearch的質量測量系統可為3D元件結構的先進製程監控提供次毫克級(sub-milligram)的質量測量能力。

CORONUS系列產品 這些晶邊清洗系列產品可去除晶圓邊緣上的不必要材料，保護有效晶粒區域以提升晶粒良率。

SP系列產品 這款通過驗證的產品提供可靠、具成本效益的濕式清洗/濕式蝕刻解決方案，可輕柔地去除晶圓上的不必要材料。

DV-PRIME和DAVINCI產品 這些產品提供了高生產力所需的製程靈活性，可在整個製造流程中實現各種晶圓清洗步驟。

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