晶圓級封裝(WLCSP) & 倒片封裝(Flip-Chip) - 看文娛

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講solder ball之前,還是總結一下Flip-Chip和WLCSP之間到底區別是什麼?Flip-chip一般還是需要襯底的,只是它透過solder ball倒裝貼上去的(代替Wire bond ... 您現在的位置是:首頁 > 攝影首頁攝影晶圓級封裝(WLCSP)&倒片封裝(Flip-Chip)由 華光創科微電子 發表于 攝影2021-06-03封裝BumpRDLdie簡介那說到倒片封裝(FC:Flip-Chip),自然就要講到這個bump了,不可能把die切割了再去長這個bump吧,所以必須在Wafer還沒切割之前就做完這個process,所以就叫做WaferLevelCSP封裝了(WLCSP)倒片是什麼受電子產品的小、輕、薄的驅動,封裝領域也是不斷開發出新的封裝type。

上一章就有說到CSP封裝就是比較革命性的產品,Size是裸晶片的1。

2倍甚至同等大小,尤其隨著移動電子的興起,這種裸晶片封裝(WaferLevelCSP)封裝已經是最小最省錢的封裝方式了,雖然前期需要RDL的光罩費用,但是它省去了Leadframe的費用,直接solderbump焊接到主機板上即可。

CSP(Chip-ScaleorChipe-SizePackage)的concept起源於1990s,follow的是IPC/JEDECJ-STD-012標準,它主要應用於Lowpincount的EEPROMs、ASICs以及microprocessors(MCU)等,尤其當Wafer越大而Die又越小的時候,其成本會更有優勢。

CSP封裝主要的步驟為:把diemount到epoxyinterposer上,再用wirebond(goldorAl)將PAD和基板連線起來,第三步用MoldingPlastic封裝保護Die和Wire,最後再將Solderball貼到Interposer底部。

當然上面的wirebond會讓封裝比起diesize還要大一點。

而且從die到leadframe上的導線還有連線阻抗的,後來發展到用bump代替wirebond,所以就發展到Flipchip代替Wirebond封裝,這樣就節省了wirebond的空間了,所以就可以做到Die幾乎等size的package了。

那說到倒片封裝(FC:Flip-Chip),自然就要講到這個bump了,不可能把die切割了再去長這個bump吧,所以必須在Wafer還沒切割之前就做完這個process,所以就叫做WaferLevelCSP封裝了(WLCSP)。

Flip-Chip封裝主要的三個步驟,Die上長bumps,臉朝下把長好球的die貼倒貼到襯底或者基板上,然後填充(underfilling)。

WLCSP現在已經是封裝技術的主流,主要有兩種,一種是直接BOP(BumpOnPad),還有一種是RDL(RedistributionLayer)。

BOP技術還需要根據是否需要Polymer做re-passivation,再分為BON(BumponSiN)和BOR(BumponRepassivation)。

BOP廣泛應用於Analog/Power封裝,它由於電流是直接垂直流過,沒有橫向RDL,所以對於功率器件封裝很有優勢,Cost也很低,但是它的Pincount比較有限,所以才發展到RDL+Bump。

BOP是直接把UBM/Bump錨在TopMetal的PAD上,而RDL+Bump是用Polymer(Polyimide或PBO)隔離並佈線並且把Bump與devicesurface隔開。

再簡單講一下RDL+Bump+銅柱的工藝流程吧,和FAB工藝差不多吧,四層光罩即可。

RDL之間的dielectric用Polyimide隔離。

Metal可以用電鍍長上去(Seed用Sputter)。

成型之後的RDL+Bump就是如下圖的樣子:最早的WLCSP是Fan-In的,意思就是bump全部長在die上,而die和Pad的連線主要就是靠RDL的MetalLine來連線的。

與之對應的就是Fan-Out的WLCSP封裝,這就是把bump長到chip外面去了(1。

2倍),面積大點,bump的壓力不會對晶片造成損傷。

講solderball之前,還是總結一下Flip-Chip和WLCSP之間到底區別是什麼?Flip-chip一般還是需要襯底的,只是它透過solderball倒裝貼上去的(代替Wirebond)而已,而WLCSP是把長好的球做好之後直接貼到PCB板上去。

好了,不管是Flip-Chip還是WLCSP都需要一個東西叫做SolderBall(錫球),那接下來該講解SolderBall了,這些Bump是怎麼長上去的。

先講講為啥用錫球?那就要回答一個問題,SolderBall的技術要求是什麼?免責宣告:本公眾號所載文章為本公眾號原創或根據網路蒐集編輯整理,文章版權歸原作者所有。

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