新泰真空科技有限公司- 1.反應離子刻蝕反應離子刻 ... - Facebook
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如下圖所示，RIE腔室的上電極接地，下電極連接射頻電源（13.56MHz），待刻蝕基板放置於下電極，當給平面電極加上高頻電壓后，反應物發生電離產生等離子體 ... JumptoSectionsofthispageAccessibilityhelpPressalt+/toopenthismenuNoticeYoumustlogintocontinue.LogintoFacebookYoumustlogintocontinue.LogInForgottenaccount?·SignupforFacebookEnglish(UK)中文(简体)BahasaIndonesia日本語ภาษาไทยTiếngViệt한국어EspañolPortuguês(Brasil)Français(France)DeutschSignUpLogInMessengerFacebookLiteWatchPlacesGamesMarketplaceFacebookPayJobsOculusPortalInstagramBulletinLocalFundraisersServicesVotingInformationCentreGroupsAboutCreateadCreatePageDevelopersCareersPrivacyCookiesAdChoicesTermsHelpSettingsActivitylogMeta©2021
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