MEMS身為一項革命性的新技術，目前已經被廣泛應用於高新科技領域，最為常見的是MEMS傳感器，諸如MEMS加速度計、MEMS麥克風、MEMS陀螺儀等。

早些年間，MEMS器件主要應用於汽車市場，但是隨著智慧型手機、智能家居、物聯網及工業4.0等相繼亮相，這為MEMS提供了更為廣闊的應用市場，當然，新的市場也為MEMS產業帶來了新的挑戰。

整體而言，由於MEMS是一項新技術，且國內起步較晚，因此出目前國內MEMS產業鏈出現了後端封裝較為完善，但前端製造卻亟待加強的局面，同時，一些新興市場的為MEMS產業帶來機遇也對其提出了新的要求。

微機系統MEMS作為一種建立在微電子技術上的技術，其融合了光刻、腐蝕、薄膜、精密加工等高科技技術。

此外，身為一項具有革命性意義的新技術，其發展至今，已經廣泛應用於各種高科技領域，常見的MEMS器件包括MEMS陀螺儀、MEMS加速度計、MEMS麥克風及MEMS光學傳感器等。

但是，在2008年以前，MEMS器件並無不像如今這般普及，其主要局限於汽車領域的應用，自2008年以後，諸如智慧型手機、平板電腦及如今的物聯網等新興領域的發展，促使MEMS飛速發展。

儘管MEMS器件如今在科技領域舉足輕重，遺憾的是國內發展卻比較晚，與國外相比，國內MEMS產業鏈前端的製造著實亟待提高及借鑑。

尤其是隨著越來越多的行業需要使用MEMS器件，建立完善的MEMS產業鏈對於中國而言十分有必要。

首先來看看，國內MEMS產業鏈與國外相比，有哪些優勢及不足。

據麥姆斯諮詢CEO王懿介紹，當前國內MEMS產業鏈的優勢在於市場方面，而不足之處在於MEMS製造環節，他以國內智慧型手機為例表示，2014年中國智慧型手機出貨量約占據全球智慧型手機出貨量的40%;2014年全球智慧型手機出貨量十強，中國企業占6席;華為、聯想、小米等中國廠商則成為全球市場上的增長主力軍。

因此，中國擁有龐大的MEMS消費市場，吸引眾多國際MEMS大廠前來「淘金」。

由此可見，手機的確是MEMS產業鏈的一大推動力。

對於國內發展的難點——前端製造，他強調，由於國內缺乏MEMS前端製造方面的經驗，且沒有很好的MEMS代工廠來支持Fabless企業發展，因此國內資本開始尋找海外優質的MEMS資源，實施併購行為。

「最近盛世投資收購全球最大的純MEMS代工廠Silex Microsystems，並計劃在北京亦莊建設8英寸MEMS代工線，以彌補中國MEMS產業鏈的短板，同時也幫助Silex Microsystems實現快速發展，保持其在全球純MEMS代工廠行業的領先位置。

」他說。

思比科CEO陳杰在接受記者採訪的過程中指出，國內的優勢主要是離應用市場比較近，需求量大，因而對MEMS企業具有較大的吸引力，容易形成MEMS產業鏈。

不足之處是在MEMS基礎研究、獨創性器件和工藝研發方面不夠紮實，核心技術目前還主要依賴於國外。

此外，王懿還強調：「MEMS是半導體產業的一個重要領域，為智能製造、智慧城市、物聯網、醫療器械、移動終端、可穿戴設備提供傳感器等核心器件，是實現中國製造2025不可或缺的關鍵技術。

」

雖然國內MEMS產業鏈前端製造等需要依賴國外，但後端的封裝等領域則相對而言較為完善，這就形成了前端製造與後端封裝不平衡的現象。

對此，陳杰解釋道：「主要原因是因為MEMS前端研發等涉及MEMS核心技術和工藝，而國內的現狀是目前還主要依賴於國外，比如說，如果在技術轉移、智慧財產權保護等一系列問題得不到很好的解決，那麼前端技術轉移可能需要時間。

後端部分相對而言不涉及核心技術，因此其同時離市場也近，所以更加容易在國內建立。

」

王懿同樣表示，MEMS前端製造有別於平面化的IC製造，MEMS前端製造方式十分豐富，幾乎涉及了各種現代加工技術。

其起源於半導體和微電子工藝，以光刻、外延、薄膜澱積、氧化、擴散、注入、濺射、蒸鍍、刻蝕等為基本工藝步驟，來製造複雜三維形體的微加工技術。

他還強調：「MEMS前端製造還需要與MEMS設計相結合，才能實現「完美」的產品。

因此，優秀的MEMS代工廠和優秀的fabless公司如影隨形。

」

對於如何提高國內MEMS產業鏈前端的製造實力。

陳杰認為，由於MEMS工藝並不要求特別先進的半導體工藝技術，關鍵是需要加強基礎技術、加大原創性器件結構和與器件匹配的特種工藝的研發力度。

目前應當選擇使用量大的器件作為突破口，加大MEMS器件與信號處理IC的集成創新。

王毅也提出了他的解決方法，那就是通過收購一些國外MEMS廠商進一步買進技術。

正如前文所述：盛世投資收購全球最大的純MEMS代工廠Silex Microsystems，將海外技術本土化。

據了解，Silex Microsystems作為一家專注於無晶圓廠或輕晶圓廠的MEMS公司，雖然其已經成為了全球最大的純MEMS代工廠，但是其從不涉及任何MEMS器件的設計和開發，其最大的優勢是擁有一批資深的MEMS工程技術人員，此外，與其合作的MEMS產品客戶同樣不可忽視。

目前，它已經擁有了一套系統的、結構化的方法以助MEMS客戶有效地實現工藝集成及產品的認證。

由此可見，盛世投資收購Silex Microsystems對國內產業鏈而言可謂十分重要。

總的來說，對於國內MEMS廠商而言，MEMS產業鏈前端的製造是「心頭之痛」，如何提高製造實力是各廠商亟待解決的問題。

作為半導體行業中的一重要分支，通過收購國外廠商從而提高製造實力未嘗不可，這也是最為快速便捷的方式。

對於半導體行業來說，通過收購或併購來提升競爭實力已經屢見不鮮。

（責編：張哲）

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