未來月產能4萬片,上海最大集成電路投資項目華力12英寸先進生產線首台工藝設備搬入
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今天上午,在上海浦東新區康橋工業園南區,由華虹集團旗下上海華力集成電路製造有限公司建設和營運的12英寸先進生產線建設項目(以下簡稱「華虹六廠」)實現首台工藝設備——光刻機搬入(見視頻), 標誌著華虹六廠從基建階段進入工藝設備安裝調試階段。
此次搬入的首台工藝設備為荷蘭阿斯麥公司的NXT 1980Di光刻機,是目前中國大陸集成電路生產線上最先進的浸沒式光刻機。
華力12英寸先進生產線建設項目是上海市最大的集成電路產業投資項目,總投資387億元人民幣,將建成月產能4萬片的12英寸集成電路晶片生產線,工藝覆蓋28-14納米技術節點。
項目計劃於2022年底達到產能目標。
項目主要從事邏輯晶片生產,重點服務國內設計企業先進晶片的製造,並滿足部分事關國家信息安全的重點晶片製造需求。
項目已被列入國家《「十三五」集成電路產業重大生產力布局規劃》,是國家「910工程」的子項目之一,也是「十三五」期間上海市重大產業項目和上海市重大工程。
華力12英寸先進生產線建設項目實現首台工藝設備搬入,標誌著將康橋工業園南區打造為上海集成電路產業發展新基地、上海市落實《國家集成電路產業發展推進綱要》取得了階段性勝利,同時對上海建設先進位造業的產業集群高地、打響「上海製造」品牌有著重要意義。
自2016年12月30日開工以來,經過16個半月的努力,目前主廠房已完成凈化裝修,相關配套機電設備準備就緒,具備了工藝設備搬入條件,較原計劃進度提前1個半月。
未來五個月內,華虹六廠工藝設備將集中搬入,並完成安裝調試,年底前完成生產線串線並實現試流片。
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