廿年磨劍，「909」工程二次升級，成為十三五上海最大產業投資

更大尺寸的晶圓，更高密度的晶片，更細線寬的工藝——今天（9日），國家發展微電子產業重點工程「909」工程，在20年之後啟動二次升級，總投資387億元，建設華力二期12英寸集成電路新生產線，達國際主流規格和水平。

這一項目被列入國家《「十三五」集成電路產業重大生產力布局規劃》，也是「十三五」期間上海最大的產業投資項目之一，以及2016年度上海市重大工程。

從8英寸到12英寸更高工藝等級的比較。

徐瑞哲 攝

作為原電子工業部與上海市政府「部市合作」的國家「909」工程載體，上海華虹（集團）有限公司1996年誕生，成為我國發展自主可控集成電路產業的國有產業集團。

華虹集團從建設和運營中國大陸第一條8英寸生產線起步，現共有3條8英寸生產線、1條12英寸生產線，後者也是國內第一條全自動晶片生產線，以及採用國產設備和原材料最多的12英寸線，其全自動矽片搬送系統和全自動派工系統，達到當前智能製造最高水平。

華力微電子12英寸集成電路晶片生產線。

目前，這4條線的總產能摺合8英寸後達到每月23萬片，已是「909」工程一期竣工時的11.5倍。

同時，工藝技術從0.35微米，演進到了28納米。

今年，華虹集團集成電路製造業收入預計首次突破10億美元大關，達到12億美元。

近5年來，華虹下屬的兩家公司分別在深圳和香港上市，也為集團後續發展提供了境內外兩大融資平台。

迄今，全集團已申請集成電路製造發明專利1萬項。

華力微電子全自動生產線上的軌道小車。

作為電子信息產業鏈上游的「芯」，跨國巨頭持續挑戰摩爾定律，不斷提升高工藝等級，深入更為細小的納米尺度。

為此，這一重大產業項目將工藝定位為28-20-14納米的12英寸集成電路晶片生產線。

通過新設法人——上海華力集成電路製造有限公司，在浦東新區康橋工業區南區建設一條月產能4萬片的新線，主要從事邏輯晶片生產，重點服務國內設計企業先進晶片的製造需求，並滿足部分事關國家信息安全的重點晶片製造。

解放日報·上觀新聞記者獲悉，按計劃，項目將於今年底正式動工，2018年底完成工藝串線、試生產，形成1萬片生產能力；2020年具備14納米FinFET產品的生產能力；2022年前實現4萬片達產。

項目建成後，華虹集團集成電路製造能力將覆蓋半微米至14納米的各工藝技術平台，製造規模進入全球前五，工藝技術進入全球第一梯隊。

目前，在中央和上海市各有關方面支持下，項目籌資和土地徵用工作即將完成。

項目資本金已達296億元，由國家集成電路產業基金、上海市集成電路製造基金以及上海市戰略性新興產業基金共同出資，由國家開發銀行領銜的銀團為項目提供貸款。

項目新征土地45公頃，可建設3條12英寸生產線，先建設1條生產線和綜合配套設施，並完成相鄰生產線的樁基工程。

上海市經信委透露，根據相關規劃，爭取到2020年，集成電路產業規模達到2000億元；先進設計能力進入16/14納米及以下，先進工藝量產能力達到16/14納米；特色工藝進入世界先進行列，部分領域達到國際領先水平。

當天，全國政協原副主席、華虹集團名譽董事長鬍啟立，國家發改委副主任林念修，上海市委副書記、常務副市長應勇共同啟動項目建設。

【新聞連結】「909」升級路

「909」工程：20世紀90年代第九個五年計劃中，國家發展微電子產業重點工程的簡稱。

其內容是建設一條8英寸、0.5微米技術起步，月加工2萬片晶圓的超大規模集成電路生產線。

項目於2000年竣工。

「909」工程升級改造項目：「十二五」期間國家電子信息產業的重點項目。

在「909」工程成功建設和已取得成果的基礎上，在張江建設一條12英寸、90-65-45納米技術工藝等級，月產3.5萬片晶圓的集成電路生產線（實際建成為55-40-28納米工藝等級）。

項目2010年啟動建設，2015年完成項目竣工驗收。

「909」工程二次升級改造項目：「十三五」期間國家集成電路生產力布局的重點項目，是國家「910」工程的重要子項目。

投資387億元，建設一條28-20-14納米工藝等級、月產能4萬片晶圓的12英寸生產線。

項目將於2016年底開工，2018年試生產，2022年前達產。

題圖：12英寸集成電路晶片產品。

圖片除署名外，均由華虹集團供圖。

圖片編輯：項建英