以非熱電漿處理CF4及SF6之效率探討

非熱電漿破壞已被證實可有效去除NOx、SOx、VOCs和PFCs，最近更發展出電漿和觸媒之整合技術，不論於污染物去除或潔淨能量生成均有更優異之效能，為極具應用前景之新興 ... 隨時查．隨時看，你的隨身圖書館已上線! 立即使用 DOI 是數位物件識別碼 （ D igital O bject I dentifier ） 的簡稱， 為物件在網路上的唯一識別碼，可用於永久連結並引用目標物件。

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來源資料 中央大學環境工程研究所學位論文 碩士班/2006年 大氣氣膠含水量受氣膠化學成分的影響及水可溶有機碳分析方法的建立 純化程序對奈米碳管表面特性影響之研究 台北市空氣品質近十年來變動型態及其顯現的意義 污泥類廢棄物取代部分水泥原料燒製環保水泥之可行性研究 污泥灰渣全資源化水泥砂漿之研究 利用分子生物技術分析光電業廢水生物處理單元菌相結構之研究 利用碳氣凝膠紙電吸附於二氯化銅水溶液現象之探討 綜觀天氣及不同氣流軌跡影響下的北台灣氣膠特性 釩鈦觸媒催化分解氣相戴奧辛之研究 CFSBR水質推估公式之發展與建立 工學院 > 環境工程研究所 工程學 > 土木與建築工程 書目管理工具 書目匯出 加入收藏 E-mail給朋友 列印書目 相關連結 問題回報 查詢館藏 目前無全文，華藝徵求您的同意授權。

我要授權 以非熱電漿處理CF4及SF6之效率探討 RemovalefficiencyofCF4andSF6usingnonthermalplasma 鄭立群 ,碩士　　指導教授：張木彬　　 繁體中文 非熱電漿；去除效率；觸媒；全氟化物；interaction；non-thermalplasma；combinedplasmacatalysis；perfluorinatedcompounds(PFCs) 分享到 摘要 │ 參考文獻 (44) │ 被引用次數 (5) │ 文章國際計量 摘要 〈TOP〉 PFCs為半導體業及光電業製程所需氣體，由於其全球暖化潛勢(GWP)高且生命週期長，致使其排放問題備受關注。

燃燒與觸媒轉化為現行PFCs處理技術中最常被使用者，但燃燒法耗能高且有發生工安意外疑慮；而觸媒轉化法則因觸媒毒化限制其應用。

非熱電漿破壞已被證實可有效去除NOx、SOx、VOCs和PFCs，最近更發展出電漿和觸媒之整合技術，不論於污染物去除或潔淨能量生成均有更優異之效能，為極具應用前景之新興技術。

本研究利用介電質放電(DBD)和電漿結合銅鋅觸媒(CPC)處理含SF6或CF4之氣流，旨在探討電漿與觸媒之交互作用機制，以及經電漿處理後之觸媒表面變化。

此外，許多研究顯示於電漿添加含O和H之氣體將有助於污染物之去除，有鑑於H2O(g)對於電漿處理PFCs的影響尚未釐清，此部份亦為本研究之另一重點。

實驗結果顯示，觸媒經電漿處理後表面粗糙度增加，該結果有助於催化作用之進行，於相同溫度下，其對於SF6之轉化率較未經電漿處理之觸媒為佳。

推論其原因為提升表面粗糙度可增加觸媒之活性位置。

另一方面，電漿觸媒系統處理SF6時，將於觸媒表面生成硫化物，若將此觸媒再進行催化作用所得之去除效率較新鮮觸媒為差，證實S對於觸媒產生毒化作用。

處理SF6之觸媒經鑑定後，表面生成CuS2、ZnSO4、AlF3、MgF2…等化合物；觸媒與CF4反應後生成C和F等化合物。

於本研究中，DBD對於SF6和CF4之轉化效率分別為93%和32%；CPC系統對於SF6轉化率為85%，CF4則為59%。

一般而言，於相同比能量密度下，CPC可獲致較佳之轉化率，然CF4卻呈現相反之趨勢。

針對該現象本研究進行如下之實驗：利用含浸法使觸媒表面含有10wt%之S，將其置入CPC系統並通入CF4（作為F之來源）進行放電，尾氣中可監測出SF6，證實觸媒表面之S於CPC系統中可引發逆反應，導致SF6去除效率下降，然該逆反應於CPC系統中之重要性需更多實驗方能證實。

並列摘要 〈TOP〉 Duetotheextremelyhighglobalwarmingpotential(GWP).Emissionsofperfluorinatedcompounds(PFCs)havecousedattractedmoreandmorepublicconcernduetotheirhighglobalwarmingpotential(GWP).SinceKyotoProtocolhascomeintoeffect,moreeffortsneedtobemadetodevelopabatementtechnologieswithbetterperformancetoeffectivelyreducePFCemissions. AmongthevariousstrategiesforPFCremoval,destructionisstillthemostavailableone.CombustionandcatalyticoxidationarecommonlyusedapproachesforreducingPFCemissions.However,relativelyhighfuelcostandpotentialpoisoningofcatalystlimittheirfurtherapplication.Non-thermalplasma(NTP)technologieshavebeensuccessfullydemonstratedtobeeffectiveinremovingavarietyofgaseouspollutants,suchasNOx,SOx,VOCs,andPFCs.Morerecently,apromisingtechnologyreferredtoascombinedplasmacatalysis(CPC)hasbeendeveloped.Thebetterperformanceforsynthesisgasproductionandpollutantdestructionhasbeenprovedinrelevantliterature.However,theinteractionbetweenplasmaandcatalysisisnotfullyunderstood. ThisstudyaimsatinvestigatingthedifferenceinthedestructionmechanismsaswellasthechangeofcatalystsurfacepropertiesafterplasmatreatmentofSF6andCF4inDBDandCPC,respectively. Theexperimentalresultsindicatethattheroughersurfaceofcatalystafterplasmatreatmentcouldenhancecatalysis,whichmightresultfromthecatalystactivityduetotheincrementofactivesitesontheedgesandcorners.Ontheotherhand,aftertreatinggasstreamcontainingSF6withCPC,formationofSonthecatalystsurfacehasbeenconfirmed.Intermsofcatalysis,suchphenomenonwillcausenegativeeffectbecausesomeactivesitesarecoveredwithS.Moreover,substancessuchasCuS2,ZnSO4,AlF3andMgF2arealsoidentifiedonthecatalystsurfaceafterplasmatreatment. ThehighestremovalefficienciesforSF6andCF4obtainedwithDBDare93%and32%,whilethoseachievedwithareCPCare85%and59%,respectively.ItisinterestingtofindthattheremovalefficiencyforSF6obtainedwithDBDishigherthatwithCPCunderthesamespecificenergydensityisfoundinthisstudy.Basedontheexperimentalresultsofthisstudy,itmightstemfromthereversereactiontakingplaceonthesurfaceofcatalyst.Asfortheby-productanalysis,theresultsindicatethatSO2F2andSOF4arethemajorproductsafterplasmatreatmentofSF6. 參考文獻 ( 44 ) 〈TOP〉 AndersonH.M.,MersonJ.A.,andLightR.W.,(1986),"AkineticmodelforplasmaetchinginaSF6/O2RFdischarge",IEEETrans.PlasmaSci.,vol.14,156.連結： AltavillaC.,CilibertoE.,(2004),"Decaycharacterizationofglassypigments:anXPSinvestigationofsmaltpaintlayers",DipartimentodiScienzeChimiche,UniversitadiCatania,VialeAndreaDoria6,95125Catania,Italy.,Appl.Phys.A,vol.79,309.連結： BelhaouariJ.B.,GonzalesJ.S.,andGleizesA.,(1998),"SimulationofadecayingSF6arcplasma:hydrodynamicsandkineticscouplingstudy",J.Phys.D,vol.31,1219.連結： EdelsonD.andFlammD.L.,(1984),"ComputersimulationofaCF4plasmaetchingsilicon,"J.Appl.Phys.,vol.56,1522.連結： HungM.C.,YangC.L.,WuP.H.,PanS.M.andHuangY.S.,(2001),“ReductionofNF3usageforoptimalAMATHDPcleanrecipe”,ISESH8thAnnualConference,Kenting,Taiwan.連結： 被引用次數 (5) 〈TOP〉 曾偉綸(2009)。

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以液相非熱電漿技術降解高濃度酚類廢水之研究。

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液相非熱電漿備製含氮二氧化鈦降解偶氮染料並結合陶瓷膜回收光觸媒之研究。

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