非熱電漿

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中文對「plasma」一詞的翻譯有二：  ...Airiti Library華藝線上圖書館_以非熱電漿處理CF4及SF6之效率探討非熱電漿 ； 去除效率 ； 觸媒 ； 全氟化物 ； interaction ； non-thermal plasma ... AMAT HDP clean recipe”, ISESH 8th Annual Conference, Kenting, Taiwan.