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本論文研究是以RF原理作為理論基礎，並了解它在CVD製程機台的系統架構，利用網路分析儀量測Filter Module和Matching Network分析13.56MHz 2KW RF Generator，並 ... 資料載入處理中... 跳到主要內容 臺灣博碩士論文加值系統 ::: 網站導覽| 首頁| 關於本站| 聯絡我們| 國圖首頁| 常見問題| 操作說明 English |FB專頁 |Mobile 免費會員 登入| 註冊 功能切換導覽列 (165.22.59.181)您好！臺灣時間：2021/11/2606:30 字體大小：       ::: 詳目顯示 recordfocus 第1筆/ 共1筆  /1頁 論文基本資料 摘要 外文摘要 目次 參考文獻 電子全文 紙本論文 論文連結 QRCode 本論文永久網址: 複製永久網址Twitter研究生:林威民研究生(外文):WEI-MINLIN論文名稱:半導體設備13.56MHz2KWRFGenerator機台之研究與分析論文名稱(外文):TheResearchandAnalysisofSemiconductorEquipment13.56MHzRadioFrequencyGenerator指導教授:黃啓光指導教授(外文):CHI-KUANGHWANG學位類別:碩士校院名稱:中華大學系所名稱:電機工程學系碩士班學門:工程學門學類:電資工程學類論文種類:學術論文論文出版年:2015畢業學年度:103語文別:中文論文頁數:46中文關鍵詞:射頻產生器、化學氣相沉積、半導體、功率放大器外文關鍵詞:RFGenerator、ChemicalVaporDeposition、Semiconductor、PowerAmplifier相關次數: 被引用:0點閱:4248評分:下載:0書目收藏:0 中文摘要本篇論文主要研究RF射頻產生器，13.56MHz2KWRFGenerator。

研究內容包含，一、13.56MHz2KWRFGenerator於化學氣相沈積（ChemicalVaporDeposition，CVD）之架構。

二、Generator內部各個Module之功能用途。

三、13.56MHz2KWRFGenerator內部的功率放大器、組合器和匹配網路的詳細電路。

本論文研究結果對於如何增進維修13.56MHz2KWRFGenerator的能力，提出有效的方法。

研究13.56MHz2KWRFGenerator具有高度的實質應用價值。

由於13.56MHz2KWRFGenerator廣泛的應用於半導體製程設備，瞭解研究射頻產生器是值得關注且研究的方向，13.56MHz2KWRFGenerator最大使用範疇在於化學氣相沈積製程機台上。

本論文研究是以RF原理作為理論基礎，並了解它在CVD製程機台的系統架構，利用網路分析儀量測FilterModule和MatchingNetwork分析13.56MHz2KWRFGenerator，並使用ADS（AdvancedDesignSystem）軟體進行數值模擬。

因此，研究13.56MHz2KWRFGenerator不僅對於理論研究有幫助，更能具體地呈現研究的高度實用成效。

在快速發展的時代，獲取日新月異的技術，唯有擁有瞭解最根本基礎的研究能力。

本論文結果可以提供，了解13.56MHz2KWRFGenerator原始製造者的想法和最終的目的，更重要的是當13.56MHz2KWRFGenerator損壞時，透過本研究結果，更能正確的分析出故障原因，進而縮短機台修復時間，期待以此為基礎，銜接乘載新技術的發展與延伸。

關鍵字：射頻產生器、化學氣相沈積、半導體、功率放大器 ABSTRUTThe13.56MHz2KWRFGeneratorplayanimportantroleinthesemiconductorsequipment,includingChemicalVaporDeposition(CVD).Thisthesisconsistsofthethreeparts,a,13.56MHz2KWRFGeneratorofCVDstructure.Second,eachoftheGeneratorModuleusesinternalfunctions.Three,13.56MHz2KWRFGeneratorinternalPowerAmplifier,CombinerandMatchingdetailedcircuit.Weshowthathowtoenhancetheabilitytorepair13.56MHz2KWRFGeneratorproposedeffectivemethod.13.56MHz2KWRFGeneratorusuallybeusedinthesemiconductormanufacturingequipment.TostudytheRFgeneratorhaveincreasedsignificantlyinthepasttenyears.ThisthesisisbasedonRFprinciplesasthetheoreticalbasis,andlearnitintheCVDsystem,theuseofnetworkanalyzermeasurementsCombinerandMatchingAnalysis13.56MHz2KWRFGenerator,anduseADS(AdvancedDesignSystem)softwarebeNumericalSimulation.Therefore,thestudy13.56MHz2KWRFGeneratorhelpfulnotonlyfortheoreticalresearch,morespecifically,thestudyshowedahighdegreeofpracticaleffectivenessinthemarket.Keywords:RFGenerator、ChemicalVaporDeposition(CVD)、semiconductor、PowerAmplifier 目錄中文摘要………………………………………………………………………………………………………………..…iABSTRACT……………………………………………………………………………………………………….….…ii誌謝…………………………………………………………………………………………………………………………iii目錄…………………………………………………………………………………………………………………………iv表目錄………………………………………..……………………………………………………………………………vi圖目錄………………………………………………………………………..…………………………………………vii第一章緒論…………………………………………………………………………………………………………….11-1.前言……………………………………………………………………………………………………………11-2.研究動機…………………………………………………………………………………………………….11-3.研究目的………………………………………………………………………………………………….…21-4.研究步驟與方法…………………………………………………………………………………………2第二章射頻產生器機台系統架構說明……………………………………………………………….…42-1.機台系統簡介………………………………………………………………………………………….…42-2.射頻產生器與製程反應室連接結構圖………………………………………………………52-3.射頻電漿原理………………………………………………………………………………………….…62-4.射頻產生器實體圖(含外觀及內部電路)…………………………………………….…102-5.射頻產生器內部系統方塊圖……………………………………………………………………11第三章射頻產生器E類功率放大器………………………………………………………………….…133-1.理想E類功率放大器簡介……………………………………………………………………..…133-2.理想E類功率放大器之ADS模擬……………………………………………………………16第四章射頻產生器之功率放大器、匹配網路使用ADS模擬………………………………244-1.功率放大器之量測與模擬…………………………………………………………………….…244-2.匹配網路之量測與模擬……………………………………………………………………………31第五章射頻產生器測試……………………………………………………………………………………….375-1.測試物品列表…………………………………………………………………………………………..375-2.射頻產生器功率測試…………………………………………………………………………….…38第六章結論………………………………………………………………………………………………………….42參考文獻………………………………………………………………………………………………………………..44表目錄表2-2.2同軸電纜線規格………….………………………………………………………………………..…6表2-3.5不同頻率的用途及應用…………………………………………………………………..….…10表3-1.3理想電晶體各個被動元件之方程式………………………………………………………15表5-1.1測試物品列…………………………………………………………………………………………….37表5-2.1機台電性規格……………………..…………………………………………………………………38表5-2.2機台測試資料……………………….…………………………………………….…………………38 圖目錄圖1-4.1研究步驟流程圖…………………………………………………………………………………3圖2-1.1顯示一個CVD反應器的結構圖……………………………………………………..…4圖2-2.1射頻產生器與製程反應室連接示意圖………………………………………………5圖2-3.1顯示一個AC電漿產生器的應用………………………………………………….……7圖2-3.2顯示一個電漿系統………………………………………………………………………….…8圖2-3.3離子化碰撞示意圖………………………………………………………………………….…9圖2-3.4頻率的分類…………………………………………………………………………………………9圖2-4.1射頻產生器正面實體圖……………………………………………………………………11圖2-4.2射頻產生器反面實體圖……………………………………………………………………11圖2-5.1射頻產生器內部系統方塊圖……………………………………………………………12圖3-1.1理想E類功率放大器電路示意圖………………………………………………….…13圖3-1.2理想E類功率放大器電晶體切換時汲極端電壓及電流波形圖………14圖3-1.4理想E類功率放大器之被動元件的設計步驟流程圖………………..……16圖3-2.1理想E類功率放大器ADS模擬電路圖……………………………………………17圖3-2.2輸入端Vin方波波形圖………………………………………………………………….…17圖3-2.3電晶體汲極端Vds電壓波形圖……………………………………………………..…18圖3-2.4電晶體汲極端Idd電流波形圖……………………………………………………….…18圖3-2.5直流電源供應端Idc電流波形圖……………………………………………………..19圖3-2.6電晶體汲極端對地電容Icd電流波形圖………………………………………….19圖3-2.7諧振電路I_load電流波形圖……………………………………………………….……20圖3-2.8負載輸出端Vout電壓波形圖……………………………………………………………20圖3-2.9電晶體直流負載線圖……………………………………………………………………….21圖3-2.10頻率響應圖………………………………………………………………………………………21圖3-2.11匯整各個電流之波形圖……………………………………………………………………22圖3-2.12導通角0~180度時實際之電流路徑圖………………………………………….…22圖3-2.13導通角180~360度時實際之電流路徑圖…………………………………………23圖4-1.1功率電晶體實體圖……………………………………………………………………………24圖4-1.2建立功率電晶體Model電路圖………………………………………………………..25圖4-1.3功率電晶體V_GS測試電路圖………………………………………………………………26圖4-1.4原廠V_GS特性曲線圖……………………………………………………………………….…26圖4-1.5使用ADS模擬副廠V_GS特性曲線圖…………………………………………………27圖4-1.6功率電晶體V_DS測試電路圖………………………………………………………..……28圖4-1.7原廠V_DS特性曲線圖…………………………………………………………………………29圖4-1.8使用ADS模擬副廠V_DS特性曲線圖…………………………………………………30圖4-2.1匹配網路實體圖…………………………………………………………………………….…31圖4-2.2匹配網路電路圖…………………………………………………………………………….…32圖4-2.3量測原廠匹配網路之Smithchart圖…………………………………………………33圖4-2.4使用ADS模擬原廠匹配網路之Smithchart圖……………………………..…34圖4-2.5量測原廠匹配網路之Bode圖……………………………………………………….…35圖4-2.6使用ADS模擬原廠匹配網路之Bode圖……………………………………….…36圖5-2.3射頻功率線性圖…………………………………………………………………………….…39圖5-2.4射頻功率meter測試圖…………………………………………………………………..…40圖5-2.5射頻功率控制器測試圖……………………………………………………………………40圖5-2.6射頻產生器測試圖……………………………………………………………………………41 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 電子全文(本篇電子全文限研究生所屬學校校內系統及IP範圍內開放)  國圖紙本論文 連結至畢業學校之論文網頁點我開啟連結註:此連結為研究生畢業學校所提供，不一定有電子全文可供下載，若連結有誤，請點選上方之〝勘誤回報〞功能，我們會盡快修正，謝謝！ 推文 網路書籤 推薦 評分 引用網址 轉寄                                                                                                                                                                                                                    top 相關論文 相關期刊 熱門點閱論文 1. 半導體陶瓷玻璃加熱器開發研究 2. 量測時間延遲和虛擬量測系統對逐批控制之影響分析以及新穎逐批控制技術之推導 3. 運用六標準差於半導體製程化學氣相沈積能力之均勻度改善 4. 探討2025中國製造對面板產業之NF3供應商的影響：以S公司為例   無相關期刊   1. 成長策略分析：半導體設備供應商U公司個案研究 2. 半導體設備產業之競爭與效率分析 3. 13.56MHz射頻功率電源供應器之研製 4. 利用資料探勘進行半導體設備之維修成本分析以擬訂合約計價模式 5. 台灣半導體設備產業的競爭策略研究—以漢微科與弘塑科技為例 6. 半導體設備產業發展及競爭優勢之研究-以台灣半導體設備產業為例 7. 動態環境下半導體設備供應商經營策略之研究 8. 國內半導體設備商經營策略與競爭優勢-以G公司為例 9. 台灣半導體設備產業發展之競爭優勢與策略研究-以R公司為例 10. 以DEMATEL方法探討台灣半導體設備產業發展之因素 11. 週期微帶線的應用 12. 半導體設備異常監控系統改善 13. 半導體設備商品牌忠誠度之研究-以台灣IC供應商之觀點 14. 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