【rf generator原理】Chapter7電漿的基礎原理 +1 | 健康跟著走
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rf generator原理:Chapter7電漿的基礎原理,帶電粒子的移動.•RF電場快速變換,電子能快速地加速,而離.子反應很慢.•離子截面積較大,加速過程碰撞機會較多,.
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Chapte...Chapter7電漿的基礎原理帶電粒子的移動.•RF電場快速變換,電子能快速地加速,而離.子反應很慢.•離子截面積較大,加速過程碰撞機會較多,.更使速度減慢.•電漿中電子的移動比離子快得 ...,光電所電漿子光學原理與應用.光電所.生醫光譜學...半導體電漿製程原理.電機所......RFcaninteractwithplasmainductivelyorcapacitively.73 ...,RFgenerator接在上電極,基板位於下電極上。
在蝕刻中利用中性基(radical)與基板的的化學反應進行etching,是等向性蝕刻(isotropic),低ion ...,中文摘要本篇論文主要研究RF射頻產生器,13.56MHz2KWRFGenerator。
...本論文研究是以RF原理作為理論基礎,並了解它在CVD製程機台的系統架構,利用網路 ...,美國CERES公司是專業電漿/濺鍍製程電源供應器製造商,服務的對象多以半導體、航太、再生能源等領域的客戶為主。
俊尚科技代理CERES公司CROWN系列的RF&n...
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#1Chapter7電漿的基礎原理
帶電粒子的移動.•RF電場快速變換,電子能快速地加速,而離.子反應很慢.•離子截面積較大,加速過程碰撞機會較多,.更使速度減慢.•電漿中電子的移動比離子快得 ...
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