銅靶材Cu磁性保持器keeper磁控濺射靶材鍍膜蒸發料科研實驗 ...

材，將靶材上的原子一顆一顆敲出飛越真空並. 有力的沈積在基板上，成為薄膜的一種鍍膜方. 法。 ▫ 此法製鍍出來的膜層沒有結構(Amorphous)且. 密度很高， ...

轟擊陰極之薄膜材料(稱之為靶材，Target)表面而將靶材之 ... 稱之為打火(Arcing)，此現象將造成膜質不良及靶材損傷。 ... (Keeper)，其上加一正偏.

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物理氣相沈積(PVD, Physical Vapor Deposition) 指利用電漿或電弧的物理能量將靶材上的原子沈積到基材上, 形成薄膜. 靶材依鍍膜機採用的濺鍍槍(Gun) 不同而有不同...