銅靶材Cu磁性保持器keeper磁控濺射靶材鍍膜蒸發料科研實驗 ...
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有没有哪位虫友的磁控溅射设备配的是科特莱思科公司的TORUS Mag Keeper靶枪的,你们的靶材是在哪买的呀,联系了好几家公司了,都做不了。。求助!
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物理氣相沈積(PVD, Physical Vapor Deposition) 指利用電漿或電弧的物理能量將靶材上的原子沈積到基材上, 形成薄膜. 靶材依鍍膜機採用的濺鍍槍(Gun) 不同而有不同...
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本研究以TiO2 半導體材料為靶材,分別使用直流(direct current, DC)磁. 控濺鍍及高功率脈衝磁控濺鍍(high-power impulse magnetron sputter...
- 4Sputter - 精密分析與材料研發中心
合金靶材(如:Ti/Al/Steel/Zn/Zr/Sn等),接通反應氣體可做反應式濺鍍. ii. 300w RF Generator (射頻)-最大操作功率300W,可濺鍍金屬、合金或無機靶材(...
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