[問題] PDMS-PDMS 氧電漿黏合參數請益 - PTT Web
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[問題]PDMS-PDMS氧電漿黏合參數請益@nems，共有7則留言，3人參與討論，3推0噓4→， 小弟研究是微流道晶片需要用氧電漿將兩片PDMS進行黏合打的時候維持 ...
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◎微奈米機電技術
[問題]PDMS-PDMS氧電漿黏合參數請益
[問題]PDMS-PDMS氧電漿黏合參數請益
看板
Nems
作者
asdfg9631
時間
2018/05/2011:07:40
留言
7則留言，3人參與討論
推噓
3
(
3推
0噓
4→
)
小弟研究是微流道晶片
需要用氧電漿將兩片PDMS進行黏合
打的時候維持壓力值400mtorr30W3min
有時成功有時失敗
請叫各位大大幫忙解惑。
--
※發信站:批踢踢實業坊(ptt.cc),來自:140.116.155.93
※文章網址:https://www.ptt.cc/bbs/NEMS/M.1526785663.A.E66.html
1F推lockq:三分鐘有點太長了05/2116:49
2F推a3762341:220mtorr,20W,打個五秒，緊到不行。
05/2503:04
3F→a3762341:檢查一下氧氣含量，打的時間跟是不是利用純氧有很大的05/2503:07
4F→a3762341:關係(以前曾經用空氣打過，因為裡面的氧氣含量為純氧的05/2503:07
5F→a3762341:20%，所以打的時間拉到30秒都還可以黏得不錯。
)05/2503:07
6F推BJ1014:打空氣電漿其實就ok了打完加重物放加熱板100C10min會黏09/2119:39
7F→BJ1014:更好09/2119:39
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