高级朗缪尔探针（Langmuir Probe） - 分析测试百科网

分析测试百科网仪器谱, 提供高级朗缪尔探针（Langmuir Probe）(ESPion)的详细介绍 ... 有限公司高级朗缪尔探针（Langmuir Probe）的参数指标、价格、原理和使用方法， ... 价格：面议 高级朗缪尔探针（LangmuirProbe） 产品属性 品牌 产地 型号ESPion 关注度747 信息完整度 关闭 产地：；品牌： 北京英格海德分析技术有限公司 其他会员 进入商铺 全部产品 推荐产品 活性热探针 产品描述 仪器简介：ESPion高级朗缪尔探针（Advanced Langmuir Probes for Electrical Plasma Characterisation）可快速、可靠、精确地进行等离子体诊断，是zei先进可靠的朗缪尔探针（Langmuir Probe）。

技术参数：应用：・蚀刻/沉积/清洁等离子体・脉冲等离子体操作・离子密度(Ni&Gi)・电子温度(Te)・电子能量分布(EEDF)・电子密度(Ne)・等离子体电位・Debye长度,悬浮电位主要特点：・获得数据速度：每秒15次扫描，通过D-O-E-界面可以自动、半自动或手动分析・Hiden在被动射频补偿方面处于领先地位，在所有的商业化探针中ESPion具有zei高的屏蔽阻抗(4.25Mohmat13.56MHzcf.100kohm)・高温等离子体操作时的气体制冷多感应器链，使用者可调谐至其他频率・参考探针补偿用于抵制较低频率影响，例如等离子体电位漂移(例如，反应室内腔阳极氧化所致)或噪音(例如，供电源引起)・ESPion是所有商业化探针中zei快速的脉冲等离子体探针，ESPsoft包括所有必需的标准脉冲选通电路・300、600、915mm自动线性驱动器可选，互锁隔离阀，90°探针，组合式线性－旋转驱动器可选・自清洗循环，防止探针尖端污染・经由RS232、RS485、EthernetLAN和ESPsoft软件控制 上一篇：小型二次离子质谱仪 下一篇：定量气体分析质谱 店铺 咨询留言 热线电话