Re: [問題] PDMS 氧氣電漿接合Parylene-C - nems | PTT學習區

引述《Goosbe (P&P)》之銘言： : 各位大大好~ : 想請教一下，PDMS和ParyleneC 以氧氣電漿接合的參數。

: 之前學長有給我paper證明兩者是可以接合的。

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:之前學長有給我paper證明兩者是可以接合的。

:我現在試過以25W電漿，200mTorr壓力下打90秒，再進行接合。

:做完後，完全沒有結合的感覺，就可以很輕易的兩者撕開分離。

:如果有大大做過這方面的研究或是管道請不吝分享。

謝謝。

我看過了Goosbe分享的資料來這邊po一篇希望大家可以一起討論一下: 首先我必須要說這篇paper描述的製程跟一般大家說的接合不太一樣 一般大家說的接合是用O2plasma或水滴加壓加溫烘烤把兩片作好的sheet黏起來 而這篇文章是指先把parylene作在wafer上 做過不同的前處理(有無O2plasma影響parylene表面的roughness)之後 再把PDMSspin-coat上樣品然後cure 在這過程中有牽扯到PDMS流動以及加溫定型的過程 所以可以想見對基板有強很多的黏著力 (想像塗epoxy在樣品上風乾跟把epoxy風乾後放在樣品上兩種情況 黏著力當然完全不同) 也就是說 這篇文章不是在說用O2plasma就可以很神奇的把作好的PDMS跟parylene接起來 (也有可能我誤會了你的意思:p) 我的感覺是要做這類型polymer的接合 比較可以做的是從一開始的preparation方面或樣品的前處理方面下手 相關的可以找看看K.Satoshi在MEMS2008的一篇文章你或許會有些想法 標題關鍵字是parylene-caulkedPDMS之類的 祝你順利 -- ※發信站:批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆From:71.137.252.252 1F推Jinuse:非常同意savior學長的這篇文章應該是從Roughness下手07/1902:11 ‣返回nems看板 完整討論串 5 [問題]PDMS氧氣電漿接合Parylene-C 10 nems 2008-07-1715:23 1 >>Re:[問題]PDMS氧氣電漿接合Parylene-C 1 nems 2008-07-1901:56 最新文章 [閒聊]女生知道肺臟也可以洗嗎？！ womentalk 2021-10-3008:58 [趣圖]修圖 joke 2021-10-3008:55 4 [閒聊]吐司抹醬會抹幾層？ 4 womentalk 2021-10-3008:44 1 [實況]我只想安靜的做個苟道中人 5 cfantasy 2021-10-3008:19 1 殲35？ 8 military 2021-10-3008:18 8 [閒聊]"備用"的台語女生都怎麼唸? 11 womentalk 2021-10-3008:06 最新熱門文章 Re:[討論]會因為疫苗對政府改觀嗎？ [womentalk] Re:[討論]會因為疫苗對政府改觀嗎？ [womentalk] [心情]不要再怪男生只會約了吧 [boy-girl] Re:[討論]會因為疫苗對政府改觀嗎？ [womentalk] [問題]有人也喜歡喝『蜜豆奶』嗎？ [womentalk] Re:[討論]會因為疫苗對政府改觀嗎？ [womentalk] Re:[閒聊]問:如果我們穿越到古代怎麼辦？ [cfantasy] Re:[討論]會因為疫苗對政府改觀嗎？ [womentalk] [閒聊]大家有騎車環島過嗎?? [womentalk] Re:[討論]會因為疫苗對政府改觀嗎？ [womentalk] Re:[討論]會因為疫苗對政府改觀嗎？ [womentalk] [分享]英國成功試射輕型空對地飛彈 [military]