蝕刻| Applied Materials
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延伸文章資訊
- 1奇妙的電漿與電漿的應用| 國家實驗研究院
在日常生活中使用的日光燈就是電漿的應用,隨著科技日益進步電漿也廣泛的應用在半導體製造中,像薄膜沉積製程中的濺鍍、化學氣相沉積;蝕刻製程的乾式蝕刻 ...
- 2蝕刻| Applied Materials
電漿蝕刻是將電磁能量[通常為射頻(RF)] 運用在含有化學反應成分(如氟或氯) 的氣體中進行。電漿會釋放帶正電的離子並撞擊晶圓以移除(蝕刻) 材料,並和活性自由基 ...
- 3電漿蝕刻機 - 聚昌科技
LED高密度電漿蝕刻機PSS Etcher. EP380-T. 產品功能. 利用感應 ...
- 4第五章電漿基礎原理
自由基至少有一個未成對電子,化學上. 非常活潑. • 增進化學反應速率. • 對蝕刻製程和CVD來說非常重要. 8. 電漿蝕刻. • CF. 4. 氣體在電漿中分解,產生氟自由基以.
- 5感應耦合電漿離子蝕刻製程應用於光通訊元件之開發 ... - 儀科中心
近年來製作高深寬比的矽基材感應耦. 合電漿離子蝕刻製程(以下簡稱ICP-RIE) 技術被發. 展出來,知名的Bosch 製程運用蝕刻/保護交替進. 行之程序,發展出深寬比 ...