蝕刻| Applied Materials
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延伸文章資訊
- 1常壓電漿束於矽蝕刻之應用 - 工業技術研究院
本文欲介紹工研院機械所開發之氟碳常壓電漿束，內容包括其加工技術特色、應用及與矽晶圓. 表面間之作用機制；此外，亦探討其電漿束於矽材蝕刻之應用可行性。
- 2Chap9 蝕刻(Etching)
漿下的薄膜，反應成具揮發性的生成物，而後被真空系統. 抽離，來進行蝕刻。 ◇反應性離子蝕刻法（Reactive Ion Etch，RIE），介於濺擊. 蝕刻與電漿蝕刻間的 ...
- 3Plasma
電漿. 射頻功率. 暗區. 或. 鞘層. 電極. 至真空幫浦. 陰極. Photo Courtesy: UT Dallas ... 電漿蝕刻. ▫ CF. 4. 氣體在電漿中分解，產生氟自由基以...
- 4電漿蝕刻機 - 聚昌科技
LED高密度電漿蝕刻機PSS Etcher. EP380-T. 產品功能. 利用感應 ...
- 5蝕刻| Applied Materials
電漿蝕刻是將電磁能量[通常為射頻(RF)] 運用在含有化學反應成分(如氟或氯) 的氣體中進行。電漿會釋放帶正電的離子並撞擊晶圓以移除(蝕刻) 材料，並和活性自由基 ...
