Rf power deliveryAe ParamountAdvanced energy cesarCesar 1310AE Paramount 1513Paramount 3013 manualDressler RFParamount generatorPlasma Power Supply射頻PECVD系統 - Junsun Tech
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射頻電漿輔助化學沈積系統RFPlasma-assistedCVD
CCRTechnology獨家專利的COPRA系列的電漿源皆採無燈絲式（filamentless）低壓感應耦合RF射頻設計，電漿源內建可調式匹配網路，可讓電漿能源之傳輸效率達至最佳。
而COPRA所產生的中性電漿（亦即電漿內有著接近等量的離子與電子，所形成的電荷平衡狀態）在導體或絕緣體基材上的薄膜沈積、蝕刻或表面改質等應用上，可有效減少電荷累積的狀態。
COPRA電漿
延伸文章資訊
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displacement current. – Inductive radio frequency (RF) electrical discharges. – Capacitive RF ele...
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RF 是目前應用最普遍的電源，電極可以如DC 放電裝置般置入反應器中， ... 所謂感應耦合式電漿(Inductively-Coupled-Plasma, ICP)，簡單而言係利用RF 所產.
- 5Induction plasma - Wikipedia
During induction plasma operation, the generator supplies an alternating current (ac) of radio fr...
