奇妙的電漿與電漿的應用| 國家實驗研究院
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奇妙的電漿與電漿的應用
電漿(稱做等離子體),它是在固態、液態和氣態以外的第四大物質狀態。
在日常生活中使用的日光燈就是電漿的應用,隨著科技日益進步電漿也廣泛的應用在半導體製造中,像薄膜沉積製程中的濺鍍、化學氣相沉積;蝕刻製程的乾式蝕刻與佈植技術方面,都是用電漿原理來實現半導體的製程,而其中佈植領域
延伸文章資訊
- 1Development of a DBD Plasma Generator and the ...
低壓電漿有以下優點,(1)由於壓力低可提高分子的平均自由路徑,. 增加分子碰撞能量,因此所需崩潰電壓低;(2)可以穩定操作控制電. 漿放電區域;(3) ...
- 2第二章文獻回顧
2.2.1 電漿形成原理與特性. 電漿的定義是一團氣體原子或分子,其中包含自由電子、氣體離子、. 中性的 ... 因此,低溫電漿輔助沉積的最大優點,是基材可以在較低.
- 3常壓電漿原理 - 馗鼎奈米科技股份有限公司
但現今發展最為成. 熟的電漿技術多在真空製程下進行,而有諸多缺點,如抽真空耗費時. 間、真空設備與維護費昂貴、物品尺寸受限於腔體大小、無法進行線. 上連續 ...
- 4先進電漿實驗室 - 明志科技大學
電漿聚合用來做表面改質,其特點是只在基材表面作處理,對於材料本身性質並無影響,其原理是在低壓反應器內通入各種 ... 善用常壓電漿低價及量產性之優點。
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因此,ICP 又稱為變壓器偶合式電漿(Transformer. Coupled Plasma, TCP)。電感偶合式電漿在低輸入功率. (低電漿密度)時,射頻功率之偶合是以線圈與電漿間.