奇妙的電漿與電漿的應用| 國家實驗研究院
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奇妙的電漿與電漿的應用
電漿(稱做等離子體),它是在固態、液態和氣態以外的第四大物質狀態。
在日常生活中使用的日光燈就是電漿的應用,隨著科技日益進步電漿也廣泛的應用在半導體製造中,像薄膜沉積製程中的濺鍍、化學氣相沉積;蝕刻製程的乾式蝕刻與佈植技術方面,都是用電漿原理來實現半導體的製程,而其中佈植領域
延伸文章資訊
- 1奇妙的電漿與電漿的應用| 國家實驗研究院
電漿(稱做等離子體),它是在固態、液態和氣態以外的第四大物質狀態。 ... 與佈植技術方面,都是用電漿原理來實現半導體的製程,而其中佈植領域的電漿浸潤式 ...
- 2電漿反應器與原理
PECVD 法的最大特色在於利用的是電漿態下化學性活潑的離子、原子團,. 因而可以在低溫下生成薄膜。Thermal CVD 法是在高溫下的製膜方式,大多限於. 某些特定 ...
- 3Development of a DBD Plasma Generator and the ...
低壓電漿有以下優點,(1)由於壓力低可提高分子的平均自由路徑,. 增加分子碰撞能量,因此所需崩潰電壓低;(2)可以穩定操作控制電. 漿放電區域;(3) ...
- 4電漿源原理與應用之介紹
因此,ICP 又稱為變壓器偶合式電漿(Transformer. Coupled Plasma, TCP)。電感偶合式電漿在低輸入功率. (低電漿密度)時,射頻功率之偶合是以線圈與電漿間.
- 5先進電漿實驗室 - 明志科技大學
電漿聚合用來做表面改質,其特點是只在基材表面作處理,對於材料本身性質並無影響,其原理是在低壓反應器內通入各種 ... 善用常壓電漿低價及量產性之優點。