先進電漿實驗室 - 明志科技大學

低壓電漿有以下優點，（1）由於壓力低可提高分子的平均自由路徑，. 增加分子碰撞能量，因此所需崩潰電壓低；（2）可以穩定操作控制電. 漿放電區域；（3） ...

但現今發展最為成. 熟的電漿技術多在真空製程下進行，而有諸多缺點，如抽真空耗費時. 間、真空設備與維護費昂貴、物品尺寸受限於腔體大小、無法進行線. 上連續 ...

電漿因其在材料處理上的特殊性質，故在半導體製程中廣泛的被應用。然而雖. 然電漿有許多應用上的優點，卻也因為複雜的反應機制會造成蝕刻結構的變化與傷.

因此，ICP 又稱為變壓器偶合式電漿(Transformer. Coupled Plasma, TCP)。電感偶合式電漿在低輸入功率. (低電漿密度)時，射頻功率之偶合是以線圈與電漿間.

2.2.1 電漿形成原理與特性. 電漿的定義是一團氣體原子或分子，其中包含自由電子、氣體離子、. 中性的 ... 因此，低溫電漿輔助沉積的最大優點，是基材可以在較低.