先進電漿實驗室 - 明志科技大學
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延伸文章資訊
- 1奇妙的電漿與電漿的應用| 國家實驗研究院
電漿(稱做等離子體),它是在固態、液態和氣態以外的第四大物質狀態。 ... 與佈植技術方面,都是用電漿原理來實現半導體的製程,而其中佈植領域的電漿浸潤式 ...
- 2常壓電漿原理 - 馗鼎奈米科技股份有限公司
但現今發展最為成. 熟的電漿技術多在真空製程下進行,而有諸多缺點,如抽真空耗費時. 間、真空設備與維護費昂貴、物品尺寸受限於腔體大小、無法進行線. 上連續 ...
- 3國立交通大學機械工程研究所碩士論文 - 國立交通大學機構典藏
電漿因其在材料處理上的特殊性質,故在半導體製程中廣泛的被應用。然而雖. 然電漿有許多應用上的優點,卻也因為複雜的反應機制會造成蝕刻結構的變化與傷.
- 4電漿反應器與原理
PECVD 法的最大特色在於利用的是電漿態下化學性活潑的離子、原子團,. 因而可以在低溫下生成薄膜。Thermal CVD 法是在高溫下的製膜方式,大多限於. 某些特定 ...
- 5先進電漿實驗室 - 明志科技大學
電漿聚合用來做表面改質,其特點是只在基材表面作處理,對於材料本身性質並無影響,其原理是在低壓反應器內通入各種 ... 善用常壓電漿低價及量產性之優點。