卡羅酸：基本反應條件:當H2SO4與H2O2混合,生成過氧單硫酸 ...
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基本反應條件:當H2SO4與H2O2混合,生成過氧單硫酸(H2SO5)。
H2SO5通常被稱為卡羅酸,可以同H2O2反應得到OH○和HSO4○反應基。
這些基團可以與光刻膠中 ...
卡羅酸基本反應條件:當H2SO4與H2O2混合,生成過氧單硫酸(H2SO5)。
H2SO5通常被稱為卡羅酸,可以同H2O2反應得到OH●和HSO4●反應基。
這些基團可以與光刻膠中的碳高分子鏈反應,最終生成CO和CO2。
採用現有的piranha流程,為了使反應充分進行並得到合適的去膠速率,需要將溶
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