卡羅酸- 台灣Word
文章推薦指數： 80 %
當H2SO4與H2O2混合,生成過氧單硫酸（H2SO5）。
H2SO5通常被稱為卡羅酸,可以同H2O2反應得到OH○和HSO4○反應基。
這些基團可以與光刻膠中的碳高分子 ...
也稱過氧硫酸，過一硫酸化學式：H2SO5（也可寫成SO3·H2O2）當H2SO4與H2O2混合,生成過氧單硫酸（H2SO5）。
H2SO5通常被稱為卡羅酸,可以同H2O2反應得到OH●和HSO4●反應基。
這些基團可以與光刻膠中的碳高分子鏈反應,最終生成CO和CO2。
採用現有的piranha流程,為
延伸文章資訊
- 1國立交通大學機構典藏
的壽命。 3.2 清洗單元介紹[11]. SPM：由於SPM 是利用硫酸的強氧化力去破壞有機物的碳氫鍵. 結，當硫酸與過氧化氫混合後，會產生卡羅酸（Caro's acid）可以與.
- 2卡罗酸- 快懂百科
基本反应条件：当H2SO4与H2O2混合，生成过氧单硫酸（H2SO5）。H2SO5通常被称为卡罗酸，可以同H2O2反应得到OH○和HSO4○反应基。这些基团可以与 ...
- 3RCA clean 製程 - 弘塑科技股份有限公司
利用硫酸及雙氧水生成的卡羅酸，其強氧化性及脫水性可破壞有機物的碳氫鍵結，以 ... 利用氫氟酸來蝕刻二氧化矽層的機制中，決定蝕刻速率的是[HF2-]濃度，若HF ...
- 4「卡羅酸」+1 卡罗酸 - 藥師家
「卡羅酸」+1。H2SO5通常被称为卡罗酸,可以同H2O2反应得到OH○和HSO4○反应基。这些基团可以与光刻胶中的碳高分子链反应,最终生成CO和CO2。采用现 ...
- 5過一硫酸- 維基百科，自由的百科全書 - Wikipedia
