Sub-Fab端如何有效預知監診 - 固德科技
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Sub-Fab指半導體業附屬製造無塵室，在半導體製程設備裡，常會用到Dry pump製造真空環境。
如蝕刻技術，蝕刻設備主要分濕蝕刻（液體）與乾蝕刻（氣體）， ...
SUB-FAB端監診
附屬製造無塵室
各式DRYPUMP監診
Sub-Fab附屬製造無塵室備有多種不同型式的Drypump真空泵浦，如何有效管理監測已達到預知保養？
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延伸文章資訊
- 1FAB(無塵室)!! @ minelai 's Blog :: 隨意窩Xuite日誌
(請參見前作[警報響了])我才有機會一虧無塵室的面貌。 這也顯示出FAB在高科技廠所受到的重視，一點點液體洩漏就會出動所有工程師。 就在我@ @ minemailkimo.
- 2潔淨室(Clean room) | Ansforce
潔淨室又稱「無塵室」，在晶圓廠中俗稱「Fab」，指的就是「製造廠(Fabrication)」的意思，潔淨室是專門建造用來隔絕灰塵的空間，由於電晶體本身的線路非常 ...
- 3國立交通大學機構典藏
由圖2-8可以看出生產層下方稱為Sub Fab，主要功能是作為. 潔淨室回風與物料供給。此外，由圖2-8和圖2-9可知六代廠因微振需求，除屋頂層外. 各樓層均 ...
- 4無塵室應用| AIRTECH富泰空調科技
所謂無塵室乃是為了控制室內空氣中浮游粉塵之數量、溫濕度、振動、噪音以及 ... 空氣，連續且穩定供給足夠之潔淨空氣於使用端，無塵室內的製造區（FAB）。
- 5净室- 维基百科，自由的百科全书
净室，又稱无尘室、潔淨室或清淨室，是指一个具有低污染水平的环境，這裡所指的污染來源有 ... 净室系統，製造符合規格之潔淨空氣，連續且穩定供給足夠之潔淨空氣於使用端，無塵室內的製造區（FAB）。...
