無 塵 室設計規劃

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... 100級潔淨室的設計決不允許每立方英尺空氣超過100個顆粒(0.5微米或更大) 。

[DOC] 第六章無塵室的配置鄧守廉,「潔淨室設計手冊」,學術期刊出版社,1989年。

洪火木,「晶圓廠建廠工程設計及規劃」,泰興工程。

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包括了解無塵室內設備佈置的規劃、生產何種產品、製品之流程、各無塵室的潔淨度之設定、人員、物料、成品之動線及 ...無塵室- 奇鼎科技股份有限公司功能/效益. • 無塵、無菌室設計規劃及施作• Fed-209D/E or ISO-14644 (依客戶指定) • HEPA洩漏測試、溫濕度、風量、風速、 噪音、照度、絕緣阻抗、消費電力、 ... |


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