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SMEE. 上海微电子SMEE. 高解析度曝光機（Stepper、Scanner）、自動光學檢查機（Auto Optical Inspection）、無人搬運車（AGV：Automatic Guided ... 功能表 您在這裡首頁»SMEE SMEE 高解析度曝光機（Stepper、Scanner）、自動光學檢查機（AutoOpticalInspection）、無人搬運車（AGV：AutomaticGuidedVehicle）、雷射退火設備（LaserAnnealingTool），鍵合及解鍵合設備(Bonder/Debonder)應用在半導體前段、半導體先進封裝、微機電、化合物半導體（GaAs,GaN,InP,SiC,…）、LED以及面板產業。

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