奇妙的電漿與電漿的應用| 國家實驗研究院
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奇妙的電漿與電漿的應用
電漿（稱做等離子體），它是在固態、液態和氣態以外的第四大物質狀態。
在日常生活中使用的日光燈就是電漿的應用，隨著科技日益進步電漿也廣泛的應用在半導體製造中，像薄膜沉積製程中的濺鍍、化學氣相沉積；蝕刻製程的乾式蝕刻與佈植技術方面，都是用電漿原理來實現半導體的製程，而其中佈植領域
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