LAM 2300 KiyoDecoupled plasma oxidation電 漿 蝕刻機Lam KiyoLam 2300e4lam蝕刻機台電 漿 蝕刻Lam 2300 Etch SystemsKiyo fxdecoupled plasma nitridation原理Decoupled plasma nitridationLam Etch電漿層- 维基百科，自由的百科全书
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電漿層
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電漿層，或內磁層是地球的磁層中包含低能量（冷）電漿的區域，它的位置在電離層之上，電漿層外面的邊界被稱為電漿層頂，在定義上該處的電漿密度已經降低了一個數量級。
電漿層是1963年唐·卡彭特（DonCarpenter）在分析VLF嘯聲干擾（英語：Whistler(radio)）波的資料時發現的。
傳統上，電漿層被認為是行為受到地磁良好控制，並伴隨著地球自轉的低溫電漿微粒。
然而，最近的人造衛星觀測顯示出密度的不
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