[問題] 氧電漿黏合玻璃跟pdms問題- 看板NEMS - 批踢踢實業坊

裝置是將玻璃與塗佈PDMS的玻片黏合製成以前用電漿打45-55秒就可以黏的很好 ... 黏合打完電漿，把玻璃放上PDMS 雖然看的到有彩色紋路，但是沒有接合的 ... 批踢踢實業坊 › 看板NEMS 關於我們 聯絡資訊 返回看板 作者fzudox(pc)看板NEMS標題[問題]氧電漿黏合玻璃跟pdms問題時間ThuJun419:21:012015 裝置是將玻璃與塗佈PDMS的玻片黏合製成 以前用電漿打45-55秒就可以黏的很好 放上去時就會很快黏合 最近卻幾乎都無法黏合 打完電漿，把玻璃放上PDMS 雖然看的到有彩色紋路，但是沒有接合的傾向 用重物加壓後有黏合效果，但是會有很多氣泡 整面其實沒有全部黏合 而且加壓後還是可以把玻片凹一下，讓兩者分開 玻璃在打電漿之前，有用硫酸-雙氧水洗過，也用丙酮/酒精超音波 水洗後去打氧電漿的 PDMS玻片在無塵室塗佈完，加熱固化，打電漿之前酒精超音波、水洗 不知道還有甚麼原因會造成無法黏合的情況 請各位幫幫忙Orz 還有一個問題! 有時候打完電漿 玻璃會只有某一部份黏合 如果過了一段時間還是沒有全部黏合 凹了玻片拿起玻璃，PDMS上會有玻璃的痕跡 再拿去沖水可以看到玻璃黏合的位置 請問這種狀況..會影響同一片PDMS玻片的下次黏合嗎? 也就是說，沒黏好的玻片，已有接合痕跡，再拿去打電漿會影響接合嗎? 如果會，有沒有辦法消去那部分的性質呢?(看起來比當初沒黏合的地方親水一些) -- ※發信站:批踢踢實業坊(ptt.cc),來自:140.112.23.59 ※文章網址:https://www.ptt.cc/bbs/NEMS/M.1433416864.A.AE7.html ※編輯:fzudox(140.112.23.59),06/04/201519:33:53 推jeffdon2:請注意一下腔體的真空度，最好維持在6*10^-1torr06/0419:57 →jeffdon2:真空度太低氧氣尚未作用就被抽離，太高電漿點不著06/0419:59 →fzudox:打的時候都是在3百多mtorr06/0420:12 →fzudox:剛去確認了，機台就是會一直抽到接近300mtorr06/0422:17 如果打過電漿但是黏不起來的玻璃 拆下後 再去打電漿準備黏下一塊PDMS的話 是有用的嗎?還是會改質過度而更黏不起來? ※編輯:fzudox(111.248.81.209),06/04/201523:08:25 推jeffdon2:該片玻璃上如果有殘留PDMS那就沒用了06/0512:44 →jeffdon2:另外確認一下，玻璃與塗PDMS的玻片都有打氧電漿嗎?06/0512:45 玻璃跟PDMS都有打 因為PDMS先用150度C固化過了 玻璃不會沾黏到PDMS 很多次的狀況都是打完電漿 玻璃放上PDMS後都不會有黏合(都不會看到介面顏色變黑、純粹接觸而已) ※編輯:fzudox(140.112.23.59),06/05/201521:35:45 推lockq:這蠻常發生的請放一片當ref.然後打完滴水看接觸角06/0922:56 →lockq:我用過蠻多氧電漿機台都會有這問題如果接觸角小一定能接合06/0922:56 →nasa01:PDMS150度固化多久阿06/1400:17