離子束濺鍍

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何謂離子束濺鍍法? - polybell international co., ltd.A: 離子束濺鍍法係在高真空中利用獨立之離子源發射離子束濺射靶材，將靶材上的原子一顆一顆敲出飛越真空並有力的沈積在基板上，成為薄膜的一種鍍膜方法。

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博碩士論文etd-0808105-171429 詳細資訊 - 國立中山大學2005年8月8日 · 姓名, 吳孟峰(Meng-feng Wu), 電子郵件信箱, [email protected] ... 論文名稱(中), 以離子束濺鍍法成長氮化鋁薄膜之研究 ... 本研究目的在於利用離子 束濺鍍法，藉由改變離子束能量、基板溫度等製程參數，成長 ... 【7】F. C. Stedile , I. J. R. Baumvol , W. H. Schreiner and F. L. Freire , “Study on ...