離子束 蝕刻

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| 雙束型聚焦離子束顯微鏡2017年1月10日 · 1. 快速製作高品質TEM試片以利材料分析 · 2. 樣品截面觀察 · 3. 蝕刻特定圖型 · 4. 線路修補 · 5. 樣品成份分析. 服務項目. | 圖片全部顯示FIB - MA-tek 閎康科技透過此系統,我們可以做選區的濺射來去除物質、金屬的沉積與蝕刻、及絕緣層的沉積與蝕刻,因此也是微機電(MEMS)加工很好的工具平台。

除了單槍離子束之外,聚焦離子束 ... | 前瞻聚焦離子束系統Advanced Focused Ion Beam System聚焦離子束系統(Focus ion beam, FIB)是廿世紀新開發的指標性儀器之一,將臨場橫截面與平面分析,定點TEM試片製作,微奈米圖案與元件製作等重要功能齊備於一機。

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