非熱電漿
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中文對「plasma」一詞的翻譯有二: ...Airiti Library華藝線上圖書館_以非熱電漿處理CF4及SF6之效率探討非熱電漿 ; 去除效率 ; 觸媒 ; 全氟化物 ; interaction ; non-thermal plasma ... AMAT HDP clean recipe”, ISESH 8th Annual Conference, Kenting, Taiwan.
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