獨家 | FD-SOI技術到底是否可行?格羅方德CTO說在22納米後還有戲
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雖然曾在激烈競爭中於關鍵性技術節點28nm和14nm落後於人,但作為目前全球第二大半導體代工廠,Globalfoundries(格羅方德)毫無疑問在技術方面仍有其獨到之處。
隨著摩爾定律的放緩,業界越來越多的探討著未來半導體的技術走向。
摩爾定律是否還能繼續?FinFET技術能夠走多遠?FD-SOI技術到底是否可行?EUV何時才能突破進入實際使用?近日,《中國電子報》記者在比利時布魯塞爾專訪了格羅方德首席技術官Gary Patton。
《中國電子報》記者與格羅方德首席技術官Gary Patton
下一個製程節點重點看向7納米
Gary Patton告訴《中國電子報》記者,在先進位程方面,不像過去14納米技術是從三星授權而來,7納米技術將由格羅方德自己研發。
目前還沒有確定到達7納米的具體日期,但7納米計劃絕對非常有競爭力。
格羅方德在與IBM的協議中獲得了幾百名關鍵技術人才,他們一直都在從事最先進半導體技術的研發。
這些曾經在14納米、32納米和45納米節點上與英特爾競爭的技術人員,目前正在格羅方德Melta(馬爾他)工廠專攻7納米技術。
FinFET技術方面,格羅方德的14納米正在生產中,其技術水準比其他一些代工廠的14納米和16納米更好,非常有競爭力。
目前,很多產品已經在工廠流片,產能爬坡沒有任何問題,這些產品覆蓋的市場範圍很廣泛。
未來,格羅方德將會把大部分生產力用於7納米上。
這是由於大部分客戶都將專注於7納米。
他們認為,與設計投入相比較,10納米節點沒有足夠的價值優勢,他們將可能用10納米技術做一小部分產品後轉換到7納米技術,或者直接跳過10納米來用7納米技術。
從scaling的角度來說,10納米只能算半個節點。
因為除了尺寸有所縮小,10納米在性能提升上並沒有完全遵循摩爾定律,一些擁有10納米技術的代工廠並沒有獲得如摩爾定律所言的足夠的性能提升,甚至有時候還會損失之前的技術節點能提供的性能表現。
如果10納米節點如果能有更多時間,也許可以加入額外的元素提升更多性能。
但是由於要滿足手機性能提升的計劃,必須在特定日期之前就準備好相關技術,所以一些有10納米技術節點的代工廠無法實現足夠的性能提升。
在5納米節點的技術選擇上還有待討論。
格羅方德正在做一些路徑探索的工作,例如探索FinFET技術是否可以走到5納米節點、探索納米層片堆棧、嘗試垂直電晶體。
格羅方德和IBM有一個10年的協議,包括2部分。
一是供應鏈協議,將會給他們供應14納米、7納米等節點技術。
IBM是格羅方德22納米技術的客戶,目前已經進入14納米的驗證環節。
二是研發合作協議。
格羅方德正在和IBM一起在Albany納米技術中心共同研發7納米技術,以及尋找5納米和5納米以下節點的路徑。
雖然最先進的製程技術很重要,但是老的製程技術仍然占據很大的市場份額。
例如射頻信號,IBM曾經是射頻代工的領導者,這部分業務也隨著IBM半導體部門轉移到了格羅方德。
格羅方德在這個領域投入了很多資金,以幫助在新加坡和Dresden(德國德勒斯登)的晶圓廠中的射頻業務。
22納米FD-SOI技術也將有部分射頻的生產。
FD-SOI技術已經可以走入下一個節點
據Gary Patton透露,格羅方德的Dresden工廠已經開始了22納米產能爬坡。
去年7月,格羅方德剛宣布22納米FD-SOI的項目,現在還處於早期技術開發階段。
今年年底,格羅方德將進入最後試產階段的風險生產。
這意味著目前已經有客戶在用該平台設計晶片了。
毫無疑問的是,FD-SOI技術在22納米後可以走到下一個節點。
Melta工廠在下一個節點的FD-SOI技術上也取得了發展。
不過格羅方德還沒有為該節點命名,沒有確定具體數字。
目前,為節點命名變得越來越難,因為節點名稱不再與任何物理物質存在緊密聯繫。
所以只能通過scaling(尺寸縮小)來判斷到底屬於哪個區域。
IBM曾經在SOI方面有著豐富經驗,過去長期研究PD(厚膜部分耗盡)-SOI技術。
在這個領域,IBM已經走過很多代技術,直到5~6年前,開始探索FD(薄膜全耗盡)-SOI技術。
由於這是一個對成本非常敏感的市場,格羅方德希望可以改變基本規則,真正找到那個最佳平衡點。
22納米就是一個最佳平衡點,因為可以在不用做太多雙重曝光的情況下,獲得較大的尺寸縮小。
隨著尺寸進一步縮小,雙重曝光是不可避免的,格羅方德希望的是最大化的避免做過多的雙重曝光甚至三重曝光,找到可能的最佳成本點,綜合平衡好成本、性能和功率三者之間的關係。
的確,FD-SOI技術在基片上的成本有所增加,但由於內置絕緣節省了很多掩膜步驟,所以其實FD-SOI技術是在成本方面有競爭力。
另外,格羅方德28納米技術生產的大部分工具都已成功運用於22納米技術生產,所以除了一些非常特殊的工具外,格羅方德在工具上只投入了很少的資本,這也幫助降低了成本。
同時提供FD-SOI技術和FinFET技術
Gary Patton指出,格羅方德同時提供FD-SOI技術和FinFET技術。
FinFET技術提供給那些希望做更大、更高性能晶片的公司;FD-SOI技術提供給那些更關注功率和成本平衡的公司。
由於IBM的需求,FD-SOI技術和FinFET技術研發在同時推進。
因為IBM的重點需求是具備極高性能的大晶片。
在這部分市場中,FinFET技術是明顯的贏家。
因為FinFET技術能夠提供更大的電流。
很大的晶片中需要驅動很長的信號線路,這要有很大的布線電容,需要更大的電流。
但對於小晶片來說,比如物聯網晶片,布線電容不需要那麼大,器件電容更重要。
那麼FD-SOI技術在這種應用場景下就更合適,因為FD-SOI有更少的器件電容。
格羅方德在這裡引入了一個小轉折,即體偏壓技術(body-bias)。
這是FD-SOI技術所獨有的特點,也是讓該技術最受關注的特點。
通過把矽做得極薄,讓它可以全部耗盡,所以不會再漏電流。
如果再將氧化矽層做的非常薄,同時放入偏置裝置(bias),就可以調節控制這個電晶體。
如果放入的是正偏壓,可以實現性能快速增強;如果放入的是負偏壓,我們實際上可以關掉該裝置。
讓它實現很低的漏電流,大概是1pA/micron的水平。
它可以用於非常典型的物聯網應用,Gary Patton稱之為「watchdog
processor」(看門狗處理器)。
這個處理器永遠處於工作狀態。
這個處理器不需要高性能,因為它只用於監控,等探測到活動時,自動打開圖像處理、無線通信等功能。
等所有事情完成,它再用偏壓關閉這些部分。
所以,當反向偏壓的時候,漏電流極低;只有短時間需要用到高性能的時候,再轉換到正向偏壓。
所以也可以實現極低的功耗。
未來技術節點的盡頭不可預測
Gary Patton指出,對於未來的技術節點每個人都有自己的猜測。
要注意的是,這些節點名稱已經成為一種市場策略。
「我們是不是能做1納米技術?當然可以,但這個技術節點是什麼?誰來決定這個技術節點是叫1納米?」Gary Patton強調。
一些代工廠雖然提供16納米、14納米技術,但實際上從基本規則上來說,它是20納米技術節點。
在很多年前,對於節點的定義還有一個物理尺寸可以測量出來,但是現在已經不再有這樣的物理尺寸。
現在的節點是對尺寸縮小情況的一種描述,但並不是準確的。
例如台積電,他們的10納米相對於他們的16納米來說,確實縮小了,但這並不是一整個節點的縮小,而是半個節點的縮小。
但可以確認的是,scaling(尺寸縮小)可以持續下去,例如用電晶體堆棧、借鑑存儲3Dnand的結構,他們就是在不斷地向上堆疊。
EUV將於2020年前用於7納米節點
Gary Patton認為,EUV將會於2020年之前用於7納米節點。
他表示,7納米將是一個長期生存的製程技術,他很期待在某個時期EUV可以投入使用,實現生產周期、缺陷密度等方面的提升。
從產業界來看,EUV在過去一年中取得了很大的進展。
過去,EUV工具的實現一直遇到各種難關。
這是因為13.5納米波長的光源非常難製造出來,也很難將光通向晶圓片。
13.5納米波長的光很容易被其他東西吸收,但實際上它必須要經過多次反射到達晶圓片。
但在EUV工具中,在多次反射的過程中很容易丟失能量。
但目前,一些EUV工具的可靠性問題已經有所解決,在功率方面也有穩定的技術進展。
實際上,在格羅方德Albany工廠中的設備已經關閉,以進行功率升級。
格羅方德希望升級到200瓦特以上,從而滿足大批量生產的需求。
ASML已經宣布其200瓦特功率的工具在開發階段。
當然,還有一些別的元素。
在抗蝕顯影、無缺陷掩膜板基材等方面,目前也取得了穩定進展。
「所以看起來,EUV已經在路上了,我們對於未來使用該工具非常有信心,也為此做好了準備。
」Gary Patton說。
格羅方德在Albany工廠已經有一台EUV工具,今年稍晚一些的時候,還會引進第二台。
當這個工具準備好的時候,格羅方德就可以將7納米技術移植過來,用EUV工具代替一些更複雜的步驟,比如三重曝光、多重掩膜等。
由於減少了大量的製程步驟,這將有效降低生產周期,同時減少缺陷密度。
More than Moore將發揮作用
「隨著技術的發展,產業界會繼續scale(尺寸縮小),但是節奏會放緩。
目前,這個節奏已經放緩了。
」Gary Patton告訴《中國電子報》記者。
英特爾已經將節奏從2年為延長至3年。
這足以說明技術挑戰性,隨著生產越來越複雜,從科技中獲得足夠的性能提升變得越來越難,需要更多的時間。
Gary Patton不認為問題是技術方面的,他認為現在有很多好想法,比如垂直電晶體、納米層片、自旋電子等。
限制將是經濟方面的,一個更小的晶片可以實現更高的性能,但對多數應用來說也許會太貴。
根據半導體顧問機構IBS的預測,40納米和28納米未來將仍然有很大的出貨量,直到20~25納米。
Gary Patton指出,我們還必須探索其他的增值方式,有些人稱之為「more than moore(超越摩爾)」。
例如現在的系統中,三分之一左右的電力被晶片間的通信消耗了,如果可以將晶片封裝的更近,集成包括光電子在內的一些其他的元素,能夠顯著減少功耗,實現性能提升。
另外,在封裝方面和低成本高效益方面,未來都有很多可做為的地方。
「而像FD-SOI這樣的另一種技術,為那些不想為昂貴的7納米技術付費的客戶提供了另一種選擇。
」Gary Patton說。
因為不是所有產品都適用於7納米技術。
從28納米到14納米,設計成本已經增加了2.5~3倍,可以想像的是如果考慮到三重曝光等因素,7納米的成本只會更高。
對於物聯網晶片來說,這就不合適了。
Gary Patton表示,物聯網晶片也許更適合用22納米FD-SOI技術。
另外,從scaling的角度,目前越來越難從縮小技術方面獲得很高的性能提升。
所以人們開始探索另一條道路,比如如何讓他們的產品實現進一步的優化,這也許是用過去的技術或者混合技術。
例如一大部分射頻內容,如果將其放在7納米晶片上,實際上需要負擔7納米的價格,但產品實際上並沒有縮小太多。
因為射頻電晶體很大,不能從縮小中受益。
所以,更經濟的做法也許不是把這對射頻內容整合在7納米技術上,而是用兩個晶片,一個是7納米處理器晶片,一個是應用過去的節點但是專門針對射頻優化的技術製造的晶片,把兩個晶片集成在一個FD-SOI的基板上。
這樣製造成本更低,性能表現也更好。
所以,從兩方面入手,對於那些更注重性能的用有機基板,對那些更注重成本的用矽基板。
IBM兩種手段都有,做為協議的一部分目前也轉移到了格羅方德。
Gary Patton指出,另外一條路就是做3D封裝。
格羅方德的3D封裝已經進入批量生產。
美光就是其中一個客戶。
在與美光的合作中,格羅方德支持了其Hybrid Memory Cube"(HMC)技術,他美光用格羅方德的專用集成電路晶片做了矽通孔,然後將多個DRAM晶片堆疊起來,形成一個非常大的存儲單元。
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