方華創：14nm設備正加速研發 現在、未來都不會開發光刻機

國內迎來晶圓代工廠建廠落地潮，預計2019年~2020年將會是新廠設備大規模導入時間點，國產設備將迎來更大的機遇。

在國內集成電路產業火熱發展的大環境下，國產設備廠商如中微半導體、北方華創、晶盛機電等均有了長足發展。

作為國產設備代表企業之一，日前北方華創在投資者活動中回應了其14nm製程設備進展、產品發展規劃等問題。

14nm製程設備進展

2017年年報中，北方華創表示2018年要推動14nm工藝設備等新產品的技術開發及市場拓展、布局10nm、7nm前沿關鍵技術研發，在這次投資者活動中，北方華創進一步回應了14nm設備進展。

集成電路製造設備的研發周期由設備廠商自身研發進度和其下遊客戶正線工藝開發進度共同決定，目前國內製造企業在工藝方面遠落後於國際水平。

代表國際水平的台積電、三星早已量產10nm、7nm，台積電的5nm正在路上，格芯5月16日也宣布7nm製程將於今年底前亮相，而代表大陸本土自主技術水平的中芯國際現在的量產製程仍處12英寸28nm階段，中芯國際日前表示其14nm工藝預計在2019年上半年量產。

今年4月，北方華創曾在投資者平台上透露，目前其12英寸14nm製程設備正在加速研發中，14nm刻蝕機、退火設備、PVD、ALD、清洗機、立式爐、ALD等已經在客戶端進行驗證。

在這次投資者活動中，北方華創表示由於目前國內14nm製程客戶處於研發階段，在設備研發到小批量生產階段，客戶可能不會大規模採購國產設備，後期客戶會考慮成本因素，會逐漸增加國產設備的採購比例。

但對於14nm製程設備而言，如果以批量銷售作為衡量標準，北方華創認為還需要2~3年。

現在、未來都不會開發光刻機

半導體設備是北方華創營收貢獻最大的業務，2017年營收占比為51.01%，產品包括刻蝕機、PVD、CVD、氧化爐、擴散爐、清洗機及MFC等7大類。

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據北方華創透露，其半導體設備的主要客戶有中芯國際、武漢新芯、三安光電、華力微、京東方等，在長江存儲的公開招標中已中標兩台PVD和兩台清洗機，還有刻蝕機、氧化爐在客戶端進行工藝驗證，與合肥長鑫也正在就後續設備的評估展開溝通，中芯國際後續如果進行成熟工藝投產也會帶來一定數量的訂單。

有投資者問及是否計劃切入IC單晶爐及開發光刻機，對此北方華創也作出了明確回應。

北方華創表示，相比IC用單晶爐，國內光伏用單晶爐出貨量較大，公司目前集中於光伏單晶爐業務，另外IC單晶爐技術難度相對較高，此時切入還存在一定的難度。

至於光刻機，目前ASML是國際上占絕對競爭優勢的光刻機廠商，北方華創則回應稱沒有開發光刻機的計劃、未來也不會做，並表示將繼續圍繞現有設備種類做精做強。