集成電路國產設備供應商逐漸打破歐美日壟斷

中新網北京12月8日電 （馬碩 王濤）中芯國際北京公司擁有國內唯一一條實現持續盈利的12英寸集成電路生產線。

該生產線上所使用的幾十台國產設備，與眾多進口設備一起，新近完成了12英寸晶圓千萬片次的量產。

這是記者從今天舉行的專題座談會上了解到的。

集成電路俗稱晶片，是高端製造業的核心。

近年來，我國每年集成電路產品進口金額超過石油。

在普及率極高的智慧型手機行業，包括CPU、存儲器、各類感應元器件等，基本依賴進口。

中芯國際北京公司擁有國內唯一一條實現持續盈利的12英寸集成電路生產線。

該生產線上所使用的幾十台國產設備，與眾多進口設備一起，新近完成了12英寸晶圓千萬片次的量產。

中芯國際供圖

2008年以來，國家通過極大規模集成電路製造裝備及成套工藝專項——「02專項」的實施，推動集成電路國產裝備的開發和產業化，把目標直接定位在世界上最先進的65納米、40納米、28納米技術節點上，並由行業的龍頭企業來牽頭。

中芯國際是內地規模最大、技術最先進的集成電路製造企業。

其位於亦莊的北京公司，與國內集成電路設備製造商成立了「產學研」聯合開發實驗室，共同面對設備要求高、系統複雜、每兩年更新一代、市場基本被美歐日幾家廠商壟斷的局面。

在裝備設計上，以往，廠商自己在實驗室里閉門造車，造出一個「鐵箱子」，然後搬到工廠里去，不行再搬回來改；現在要預先知道生產的具體要求是什麼，隨時改進，共同開發。

對晶片生產企業來說，原來是購買進口設備，維修和調試都由外國公司承包，進度和質量有合同保證，心理負擔小；現在要使用國產設備，攻關小組邊干邊學，責任全在自己身上，不但要保證進度，更要保證交到終端客戶手裡的產品質量不出任何問題。

在國家重大科技專項的支持下，國內集成電路代工廠與設備製造企業實現對接，為國產設備在中國集成電路產業鏈中的大面積應用打開了局面，為國產設備企業走向世界奠定了基礎。

國產設備終於能夠與國外同類產品進行技術比較和價格比拼，這提升了國產設備在產業鏈中的重要性，為中國企業破除設備採購壁壘，降低採購成本，做出了巨大貢獻。

在中芯國際北京公司，眾多專業製造晶片的設備供應商雲集。

國內企業就有北方微電子、中科信、中微半導體、瀋陽拓荊、七星華創、華海清科、京儀自動化、瀋陽科儀等。

他們在其擅長的工藝領域突破了國外同類產品壟斷的局面，逐漸形成自主智慧財產權的核心技術。

尤其是北方微電子公司，成功開發了以刻蝕設備（ETCH）、化學氣相沉積設備（CVD）、物理氣相沉積設備（PVD）三大類半導體裝備產品為基礎的20餘類產品。

他們從實際生產需求出發，由用戶方發起需求，進行定製化研發和製造，開發出適合實際需要的國產化設備，最後達到批量採購的結果。

其部分產品在關鍵工藝技術上達到了國際水平，已正式進入海外主流晶片企業生產線。

出席今天座談會的北京經濟技術開發區投資促進局局長王延衛介紹，亦莊已形成集製造、封測、裝備、零部件及材料、設計企業在內的完備的集成電路產業鏈。

亦莊集成電路產業規模占全北京市的一半，率先在國內建成首條12英寸集成電路生產線，確立了北京在全國產業布局中的領先地位。

王延衛表示，開發區將重點選擇一批產業基礎較好、支撐國家信息安全需要的關鍵產品進行重點突破，包括移動通信晶片、存儲器晶片、驅動晶片、傳感器晶片四大類主要產品。

到2025年，將開發區打造成為全球領先的，先進新型存儲器、基帶晶片和射頻電路、電力電子及功率器件、集成電路代工及裝備四大高精尖領域的研發製造中心，成為中國集成電路產業的核心區與承載地。

（完）