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ASML出貨新光刻機NXT2000i:用於7nm/5nm DUV工藝
據外媒報導,光刻機霸主ASML(阿斯麥)已經開始出貨新品Twinscan NXT:2000i DUV(NXT:2000i雙工件台深紫外光刻機),可用於7nm和5nm節點。NXT:2000i將是N...
據外媒報導,光刻機霸主ASML(阿斯麥)已經開始出貨新品Twinscan NXT:2000i DUV(NXT:2000i雙工件台深紫外光刻機),可用於7nm和5nm節點。NXT:2000i將是N...