2020-09-12中國突破半導體新工藝 先要從這位美籍華人講起【文/ 觀察者網專欄作者 鐵流】日前,中科院微電子所集成電路先導工藝研發中心在下一代新型FinFET邏輯器件工藝研究上取得重要進展。微電子所殷華湘研究員的課題組利用低溫低阻NiPt矽化物在新型F...閱讀更多