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薄膜納米製程發展的關鍵依然是電子氣體

近日,德國化學材料大廠默克(Merck)宣布,在南科高雄園區成立的亞洲地區集成電路(IC)材料應用研究與開發中心正式開幕並啟用。初期投資約1億元新台幣,提供前端原子層沉積(ALD)/化學氣相沉積...