2020-09-05國產5nm蝕刻機已通過驗證 將用於台積電5nm工藝製作 作為全球頭號代工廠,台積電的新工藝正在一路狂奔,7nm EUV極紫外光刻工藝已經完成首次流片,5nm工藝也將在2019年4月開始試產。閱讀更多