瀋陽芯源微電子設備有限公司_百度百科

瀋陽芯源微電子設備有限公司成立於2002年，由中科院瀋陽自動化研究所引進國外先進技術投資創建，致力於研發製造高端半導體生產設備並提供相關服務，為客户提供專業、 ... 反饋 分享 複製鏈接 請複製以下鏈接發送給好友 https://baike.baidu.hk/item/瀋陽芯源微電子設備有限公司/17180840 複製 複製成功 瀋陽芯源微電子設備有限公司 編輯 鎖定 本詞條缺少概述图，補充相關內容使詞條更完整，還能快速升級，趕緊來編輯吧！ 瀋陽芯源微電子設備有限公司是一家從事微電子設備生產的有限責任公司，總部位於遼寧省瀋陽市。

公司名稱 瀋陽芯源微電子設備有限公司 成立時間 2002年 總部地點 遼寧省瀋陽市 目錄 1 企業簡介 2 榮譽稱號 瀋陽芯源微電子設備有限公司企業簡介 編輯 瀋陽芯源微電子設備有限公司成立於2002年，由中科院瀋陽自動化研究所引進國外先進技術投資創建，致力於研發製造高端半導體生產設備並提供相關服務，為客户提供專業、精良的設備和創新性的工藝解決方案。

芯源公司佔地2萬平方米，擁有員工180人，技術人員佔70%，擁有高等級淨化廠房、現代化辦公環境和開拓進取的技術團隊，已通過質量、環境、職業健康安全管理體系認證，產品已通過半導體行業SEMI-S2認證。

芯源公司自主開發的單片勻膠機、顯影機、噴膠機、去膠機、清洗機、濕法刻蝕機等設備廣泛應用於半導體、先進封裝、MEMS、LED等領域。

1.LED領域勻膠顯影機：應用於LED芯片製造、PSS（圖形化襯底）、MEMS、HCPV（高聚光型太陽能電池）、Waveguide（光波導）工藝的勻膠顯影等工藝製程。

2.高端封裝全自動塗膠顯影機:廣泛應用於先進封裝BGA、Flip-Chip、WSP、CSP製程的高黏度PR、PI、Epoxy的塗敷、顯影工藝製程。

3.高端封裝全自動噴霧式塗膠機:廣泛應用於TSV、MEMS、WLP等工藝製程。

4.單片濕法刻蝕機/去膠機/清洗機:廣泛應用於先進封裝BGA、Flip-Chip、WSP、CSP製程的刻蝕、去膠、清洗工藝製程。

5.前道堆疊式全自動塗膠顯影機：應用於90nm光刻工藝、BARC塗覆、SOC、SOD、SOG等工藝製程. 瀋陽芯源微電子設備有限公司榮譽稱號 編輯 2019年6月，入選工業和信息化部第一批專精特新“小巨人”企業名單。

[1]  參考資料 1.    工業和信息化部關於公佈第一批專精特新“小巨人”企業名單的通告  ．工業和信息化部[引用日期2020-07-20] 詞條統計 瀏覽次數：次 編輯次數：8次歷史版本 最近更新： Lemon西厢 （2022-02-11） 1 企業簡介 2 榮譽稱號 百科協議    隱私協議    意見反饋 Beta 進入詞條 清除歷史記錄關閉 編輯 反饋 登錄