射頻電源供應器RF Generator

射頻電源供應器RF Generator. ceres. 美國CERES 公司是專業電漿/ 濺鍍製程電源供應器製造商，服務的對象多以半導體、航太、再生能源等領域的客戶為主。

Youarehere:  Homepage 真空零組件 電源供應器 射頻電源供應器 射頻電源供應器RFGenerator   美國CERES公司是專業電漿/濺鍍製程電源供應器製造商，服務的對象多以半導體、航太、再生能源等領域的客戶為主。

俊尚科技代理CERES公司CROWN系列的RF電源供應器相關產品，可提供的頻率選擇為2MHz、4MHz、13.56MHz、27.12MHz、40.68MHz、輸出功率選擇為300W~5000W，功率精度可達+/-0.2%，款式齊全、性能精良，相信可滿足您的需求。

  CROWN射頻電源供應器 COMPASS數位式匹配器 CROWN射頻電源供應器 CROWN系列射頻電源供應器具備多種機種可供選擇，簡易的操作介面、多樣的通訊介面，可滿足各式真空濺鍍或真空電漿製程的應用需求。

以下是CROWN系列射頻電源供應器的特色： 規格齊備：多種頻率（2、4、13.56、27.12、40.68MHz），不同功率（300~5000W）可供用戶選擇。

優異性能：具備E型開關模式設計，能有效降低能源耗用量、延長設備使用壽命。

精確穩定：可提供製程所需的穩定功率，功率精度可達設定值的+/-0.2%或全功率的+/-0.5% CERESCROWN各款射頻電源供應器的規格如下： SpecModel300WModel600WModel1000WModel1200WModel3000WModel5000W Frequency（MHz） 2MHz、4MHz、13.56MHz、27.12MHz、40.68MHz Dimension（cm） 48.3(W)x55.65(L)x8.8(H) Samew/Left Samew/Left Samew/Left 48.3(W)x55.65(L)x13.2(H) Samew/Left Cooling Air Air Air Air Air/Water Air/Water ACLineInput 230V(187~235V) 230V(187~235V) 230V(187~235V) 230V(187~235V) 3x400V（360~440V） 3x400V（360~440V） COMPASS數位式匹配器 Compass系列數位式匹配器具備多樣機種可供選擇，可靠且快速的匹配速度、廣泛且彈性的阻抗批配範圍以及簡易的操作介面，可滿足您在真空濺鍍或真空電漿等製程的應用需求。

以下是COMPASS系列數位匹配器的特色：   高效匹配：透過演算法有效降低反射功率，最快可於3秒內完成匹配。

匹配範圍：採用L型匹配網路並具備27種電感線圈組合，提供用戶廣泛的匹配範圍。

安全防護：用戶在CROWN電源供應器控制面板或遠端電腦前進行控制，杜絕暴露在射頻電磁波的機會。

控制元件：採真空可變電容及感應線圈，提升製程穩定性，減少意外停機的機會。

DCBias監測：內建DCBias監測機制，用戶可在CROWN電源供應器面板或遠端電腦上監控DCBias電壓。

  CERESCompass射頻負載匹配器的規格如下： Dimension&Weight 15cm（H）x24.5cm（W）x46.8cm（L），6.3kg RFConnector TypeNfemale RFConnector Type7-16female RS232Connector 9-pin，female，subminiatureD FrequencyRange 2MHz、4MHz、13.56MHz、27.12MHz、40.68MHz Max.MatchingScale(TwoModel) 1500W、5000W ReflectedPower 600W、1000W、1200W：2Wor1%maximumofforwardpowerat20W~1200W3000W：3Wor1%maximumofforwardpowerat30W~3000W5000W：4Wor1%ormaximumoffotwardpowerat50W~5000W MatchingTime <2seconds ACLineInput 1phase，120~240VAC，50/60Hz