低溫大氣壓電漿鍍膜降低成本兼顧環保 - 工業技術研究院

現在工研院開發的「低溫大氣壓電漿鍍膜」技術，在大氣環境下，只需使用空氣與含金屬離子的水溶液，就可在數分鐘內完成透明導電薄膜（TCO）的鍍膜！ 跳到主要內容區塊 ::: 新聞中心 首頁新聞中心出版品工業技術與資訊月刊 工業技術與資訊月刊 出版日期： 封面故事Features 低溫大氣壓電漿鍍膜降低成本兼顧環保陶曉嫚以往光電產業中最關鍵的「金屬氧化物材料」（metal-oxide）鍍膜製程，必須在真空、高溫500度以上且劇毒的環境進行，難以兼顧環保與成本。

現在工研院開發的「低溫大氣壓電漿鍍膜」技術，在大氣環境下，只需使用空氣與含金屬離子的水溶液，就可在數分鐘內完成透明導電薄膜（TCO）的鍍膜！這項研發從2005年開始到2011年底，機械所先進製造核心技術組電漿應用技術部經理張加強拿著結合「龍捲風」和「閃電」原理的鍍膜噴嘴，對技術的安全性有百分之百的信心。

他回憶這項技術最大的瓶頸，就是尋找適合大量生產電漿的超合金材料，「我們花了一半的時間在嘗試最適合的超合金，期間特別與軍用品廠商合作。

」這項技術可廣泛應用於平板電腦、觸控面板、太陽能等產業，不但從設計、原料、製程到設備都符合環保的要求，是全球唯一的綠色製造技術（ECOTechnology），還能將面板生產成本壓到現有製程的20至33%間。

「更令人興奮的是，這套設備在德國牙醫器具展時被德國Linde公司相中，將跨足雷射牙齒美白殺菌的生醫領域！」張加強說，今年3月已與Linde簽約正式授權，期望這項技術除了嘉惠產業，也能為民眾健康盡一份心力。

下載全文PDF