捲對捲式常壓電漿清洗機(直接式/間接式) - 關於暉盛科技
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在全球常壓式(大氣式)電漿技術發展領域,暉盛科技首創瀑布式電漿處理機(NEMST-Waterfall2008),其最大特點為大面積、連續式進行材料表面的清洗與活化,完全擺脫傳統的常壓 ...
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產品介紹
介電屏障放電寬幅式
捲對捲式常壓電漿清洗機(直接式/間接式)
NEMST-Waterfall2008系列
在全球常壓式(大氣式)電漿技術發展領域,暉盛科技首創瀑布式電漿處理機(NEMST-Waterfall2008),其最大特點為大面積、連續式進行材料表面的清洗與活化,完全擺脫傳統的常壓電漿小噴頭無法處理大面積材料的困境;甚至可直接採用空氣(CDA)來產生電漿,大大降低反應氣體的成本。
反觀傳統的常壓電漿技術,需要同時加入大量穩定電漿的氣體(Ar,He)以及大量反應氣體(O2,N2),導致運作成本昂貴。
常壓瀑布式電漿處理機可應用於濕式製程的前處理,舉凡蝕刻、電鍍、去膠渣、清洗等製程,均可先採用瀑布式電漿進行板面表面的處理,改善板面的潔淨度與濕濡性,以提高各種製程的良率。
此外,軟板業界(FCCL,FPC)常用的CORONA設備,由於產生之離子密度過於稀薄,導致清潔效果不彰及均勻度不佳等問題,均可藉由NEMST-Waterfall2008來大幅改善接著的效能。
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特色/設計說明 性能特點 應用/解決方案
電漿電極直接架設於膜材傳動滾輪上。
介電屏障放電(DBD)電漿電極設計。
直接式或間接式電漿設計。
電極幅寬可以客製化。
電極擴充性高,處理速度快。
可適用各種捲材材料。
可作產品單面處理。
反應氣體可直接使用空氣(CDA)或氮氣。
氣體及電力運作成本低。
電極有效幅寬100mm~2300mm(客製化,寬度可以再加大)
一般可處理的速度為0.5至10m/min。
(依製程需求,可進一步討論)
電漿穩定性、均勻度高。
各式軟板之表面清潔與改質(表面活化與粗糙度之改善),適用於鍍金、鍍銅或出貨前之處理。
觸控或平面顯示器各式film材之表面處理。
各式電子或非電子元件/材料之表面清潔與改質,可適用於多種金屬或非金屬材料的處理(如PI、PET、PE、塑膠等)。
成長薄膜之應用。
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