Plasma antenna and 微波電漿源技術及應用(半導體科技NO.26 ...
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200803141156Plasmaantennaand微波電漿源技術及應用(半導體科技NO.26,2002/2)?FEKO電磁討論http://tt.acesuppliers.com/tech/tech_1.asp?idxid=3935
微波電漿源技術
延伸文章資訊
- 1第二章文獻回顧
子,其原理可由微波電場作用在真空中的自由電子來說明,如Fig. 2-3(a). 所示為 ... 微波電漿輔助化學氣相沉積法(MPECVD, microwave plasma assisted c...
- 2電漿反應器與原理
本文先對電漿現象及原理作概述,再針對電漿應用. 到蝕刻、濺鍍及輔助化學氣 ... Radio Frequency)電源及微波(MW, Microwave)電源,一般RF 的頻率13.56MHz,.
- 3電漿源原理與應用之介紹
plasma density. ( cm. -3. ) Microwave power. 2500W. 2000W. 1500W. 1000W. 1012. 1013. 1011. 圖7 電漿分...
- 4電漿表面改質層應用於精密模具結構機制之特性研究 - 行政院 ...
2-1-5 電子迴旋共振微波電漿源(ECR microwave plasma source)13 ... 其原理是將工件浸泡於電漿中,並對工件表面施加負壓,而機台腔體則接.
- 5Plasma antenna and 微波電漿源技術及應用(半導體科技NO.26 ...
#P#微波電漿原理及發展早於50年代,即有人嘗試,利用微波來產生電漿,當時之 ... Antenna Microwave Plasma Source for Hydrogen Plasma Cl...