電漿處理簡述 - 原晶半導體設備

Henniker Plasma Related References ... 電漿處理技術原理電漿處理製程可以在真空外殼或腔室中進行—能量施加電力之前，空氣被抽出，氣體在低壓下流入 ... 文章資訊 HennikerPlasmaRelatedReferencesIminaTechnologiesRelatedReferenceszeroKNanoTechRelatedReferencesKorvusTechnologyRelatedReferences /2021-06-27/ 電漿處理簡述 首先，我們先來定義何謂「電漿」。

固體、液體、氣體是我們都熟悉的物質三態。

我們可以通過增加或減少能量（如：加熱或冷卻）來調整物質狀態。

若繼續增能量，氣體分子會被電離（失去一個或多個電子），並帶淨正電荷。

如果被電離的分子達一定數量進而影響氣體電氣特性，則即為電漿。

因此，電漿通常被稱為物質的第四態。

電漿處理可用於多種材料表面特性改質，使它們更容易結合、黏合和上漆，通過清潔及活化表面來改善表面的粘附特性。

電漿包含正離子、電子、中性氣體原子或分子、紫外線以及激發態氣體原子和分子，它們可以攜帶大量內能（電漿會發光是因為這些激發態中性粒子弛豫到能量較低的狀態）。

在電漿處理過程中，所有成分都可以與表面作用。

我們可以透過選擇氣體混合物、功率、壓力等因素，精確地調整或設定電漿處理的效果。

下方影片將介紹何謂電漿處理技術及其功用： 電漿處理技術原理 電漿處理製程可以在真空外殼或腔室中進行—能量施加電力之前，空氣被抽出，氣體在低壓下流入。

電漿處理是一種低溫製程，可以處理對熱敏感的材料。

                      日常生活中常見的電漿： •螢光燈 •霓虹燈 •電漿電視   電漿處理的常見工業用途、材料及應用： •航太 •汽車 •隱形眼鏡和光學元件 •過濾介質 •醫療 •顯微鏡 •PCB/電子組裝 •O型環 •塑膠/會員卡 •影印 •學術研究 •紡織品   電漿處理最常用的材料： •塑料，包括PEEK、PTFE、聚丙烯、聚乙烯 •複合材料 •工程聚合物 •微流體PDMS •玻璃、金屬和陶瓷   電漿處理的常見用途： •電漿表面清洗 •電漿表面活化以提高附著力 • 電漿塗佈(親水&疏水) • 電漿蝕刻 電漿處理 HennikerPlasma 回上頁 TOP 繁體中文