金屬材料表面改質技術& 碳化矽(SiC) 塗層技術及應用
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金屬材料表面改質技術& 碳化矽(SiC) 塗層技術及應用 ... 本技術利用引弧器(Trigger) 在靶源附近引發陰極弧光和電漿流,過程中提供能量給靶材激發出原子和部份離子,受電子 ...
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技術櫥窗
亮點技術
金屬材料表面改質技術
▣電漿鍍膜技術(0.1~10μm)
本技術利用引弧器(Trigger)在靶源附近引發陰極弧光和電漿流,過程中提供能量給靶材激發出原子和部份離子,受電子撞擊後成為離子態,可沉積於金屬材料表面形成薄膜。
■成果與應用
►高精密模具表面改質
▣熔射塗層技術(50~500μm)
本技術利用熱能將具功能性金屬陶瓷複合材料,噴覆於工件上,形成緻密的防蝕性及抗磨耗性塗層。
製作後可以抵抗外在環境的侵蝕作用,可有效地提高產品的耐候性及使用壽命。
■成果與應用
►尺寸恢復、抗磨耗、耐高溫與抗腐蝕
碳化矽(SiC)塗層技術及應用
■技術簡介
碳化矽(SiC)是一種含有共價鍵的陶瓷材料,由於其具備良好的硬度、耐熱性、耐氧化性、耐腐蝕性及高導熱性,因此,SiC膜層可應用於LED磊晶石墨載盤、半導體、光電、機械、航太、汽車等相關產業的耐高溫、耐熱衝擊、耐磨及高散熱性零組件上。
■技術規格
►鍍膜面積達20公分直徑
► 膜層厚度達70μm以上
► 膜層結構以3C-SiC為主
► SiC膜層硬度>15GPa
工研院材化所J200高階功能性鍍膜與應用研究室
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相關文件:2020MCL-J200.pdf
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