Plasma Etch-電漿清潔機- 岳冠科技有限公司 - PCB Shop
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*真空計: 1-2000mT。
*真空泵: 5CFM兩級直接驅動油泵,含真空泵除霧器Oxygen Service - Krytox Charged。
*工作空間: 5.5"W×7"D×3.5"H;材質6061-T6鋁。
*機台尺寸: 14"× ...
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PlasmaEtch-電漿清潔機
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PlasmaEtch-電漿清潔機
北美ANSI
產品型號:PE-50基本款電漿清潔設備
產品分類:硬板用設備/硬板用濕製程設備/電漿清潔及表面處理機
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產品特色
PE-50是功能齊全、低成本且入門款的電漿清潔設備。
PE-50是完美的小型生產設施,非常適合用在研究實驗室,大學或任何小規模工作環境。
該設備可同時使用多達兩種氣體,並在研究型式的電漿清潔和表面處理方面表現優異。
產品規格
標準功能
*電極配置:一層電極結構(4.5"W×6"D+2.5Clearance)。
*發電機:150W50KHz連續可變電源。
*氣體控制:兩個0-25cc/min含精密針閥的流量計。
*控制系統:PLC控制系統搭配觸控螢幕,可儲存一個製程程序。
*真空計:1-2000mT。
*真空泵:5CFM兩級直接驅動油泵,含真空泵除霧器OxygenService-KrytoxCharged。
*工作空間:5.5"W×7"D×3.5"H;材質6061-T6鋁。
*機台尺寸:14"×14.5"×18"。
*機台重量:55bs,含真空泵重量為90lbs。
設施要求
*電力:120VAC/60Hz@15A或220VAC/50Hz@14A。
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