Atomic Layer Etch (ALE) Archives - Lam Research
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Atomic Layer Etch (ALE) Deep Reactive Ion Etch (DRIE) DRIE. 採用緊湊、高密度的結構設計,Lam Research突破性的Sense.i™平台具備無與倫比的系統智慧,能以最高 ...
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AtomicLayerEtch(ALE)ReactiveIonEtch
LamResearch的介電層蝕刻系統具備應用導向功能,可用來建構先進元件中的各種高難度結構。
AdvancedMemory,Analog&MixedSignal,Discrete&PowerDevices,Interconnect,Optoelectronics&Photonics,Packaging,Patterning,Transistor
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KIYO系列產品
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LamResearch領先市場的導體蝕刻產品能以高生產力提供形成關鍵導體結構所需的高效能精度與控制。
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SENSE.I系列產品
AtomicLayerEtch(ALE)DeepReactiveIonEtch(DRIE)DRIE
採用緊湊、高密度的結構設計,LamResearch突破性的Sense.i™平台具備無與倫比的系統智慧,能以最高生產力實現製程效能。
AdvancedMemory,Analog&MixedSignal,Discrete&PowerDevices,Interconnect,Optoelectronics&Photonics,Packaging,Patterning,Sensors&Transducers,Transistor
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