微波電漿源 - Junsun Tech
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微波電漿源MicrowavePlasmaSource
一般微波電漿的產生多使用915MHz或2.45GHz兩種頻率的微波電源，透過磁控管（Magnetron）產生微波源，並以導波管（WaveGuide）傳送特定震盪模式的微波，最後再透過石英視窗導入到真空腔體中產生電漿。
傳統微波電漿系統的設計需優化均勻的氣體分佈及共振腔設計，才能產生大面積且均勻的高密度微波電漿。
新一代微波電漿源則採同軸電子迴旋（electroncycl
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