SCICO PLASMA CLEANER 高功率氧電漿清洗機/等離子清洗機
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高功率氧電漿清洗機是一種多功能儀器,清洗速度為增強型的兩倍,適用於蝕刻有機薄膜(10-100 nm)以及表面活化與修飾。
[特點]. 緊湊而完整的單元; 可調整的射頻 ...
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SCICOPLASMACLEANER高功率氧電漿清洗機/等離子清洗機
型號:PS-6HP
品牌:SCICO
高功率氧電漿清洗機是一種多功能儀器,清洗速度為增強型的兩倍,適用於蝕刻有機薄膜(10-100nm)以及表面活化與修飾。
[特點]
緊湊而完整的單元
可調整的射頻功率(低、中、高)
最大射頻功率可達45W
包含玻璃腔(φ6”xL6.5”)
附帶觀察窗的鉸鏈門
主動式風扇冷卻
獨立開關可以操控真空馬達
額外提供一組外接式真空計電源
樣品托盤方便裝載和卸載,適合批量處理的小樣品
利用1/8”NPT針閥來調整氣體流量和腔體壓力
配合1/8”NPT三通閥可迅速切換引入氣體、排氣和隔離腔
包含抽氣管保護套,有效避免真空管拉扯玻璃腔造成損壞
尺寸:H289xW455xD241mm
[設備需求]
真空幫浦能力需求:最小抽氣量23L/min、最低真空需求:<200mTorr
對於非反應性氣體(空氣、N2、Ar),只需使用一般油式真空幫浦
需可與機器銜接的數位式真空指示計
[選購配備]
EVEFLOW是一款混合器,適用於2種氣體定流量控制的混合
石英腔體適用於特殊反應氣體和防污染高敏感樣品的應用
[相關資料下載]
SCICOPlasma增強型型錄
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